[實用新型]一種硅堆清洗熱氮干燥裝置有效
| 申請號： | 201220374319.7 | 申請日： | 2012-07-31 |
| 公開（公告）號： | CN202719838U | 公開（公告）日： | 2013-02-06 |
| 發明（設計）人： | 陳許平;倪紹榮 | 申請（專利權）人： | 南通皋鑫電子股份有限公司 |
| 主分類號： | F26B7/00 | 分類號： | F26B7/00 |
| 代理公司： | 北京一格知識產權代理事務所(普通合伙) 11316 | 代理人： | 滑春生 |
| 地址： | 226500 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 清洗 干燥 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種硅堆清洗熱氮干燥裝置，其特征在于：包括依次設置的清洗臺、丙酮脫水箱和氮氣干燥箱，所述氮氣干燥箱上設置干燥蓋板，其特征在于：所述氮氣干燥箱設氮氣進、出口，氮氣干燥箱內還設置紅外線加熱燈管，所述紅外線加熱燈管均勻分布在氮氣干燥箱的兩側。
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