[實用新型]一種空氣刀裝置

有效

• 申請號: 201220364688.8
• 申請日: 2012-07-25
• 公開（公告）號: CN202705232U
• 公開（公告）日: 2013-01-30
• 發明（設計）人: 李登濤;侯智;吳代吾;楊子衡;梁亞東;李茜茜
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;合肥京東方光電科技有限公司
• 主分類號: C03C15/00
• 分類號: C03C15/00
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291
• 代理人: 李娟

1.一種用于濕法刻蝕設備的空氣刀裝置，包括氣刀本體，所述氣刀本體包括固定連接、且相對的兩個面形成氣體腔室的第一板體和第二板體，所述第一板體和第二板體的一端形成具有一線氣體噴射口的噴嘴部，所述氣體噴射口與氣體腔室流體連通，所述第一板體具有與氣體腔室流體連通的至少一個氣體通入口，其特征在于，

所述第一板體背離所述氣體腔室的外表面形成用于將第一板體上匯聚的液體導離氣體噴射口對應區域的至少一個導流槽，所述導流槽貫穿所述第一板體的長度方向。

2.根據權利要求1所述的空氣刀裝置，其特征在于，所述第二板體背離所述氣體腔室的外表面形成用于將第二板體上匯聚的液體導離氣體噴射口對應區域的至少一個導流槽。

3.根據權利要求2所述的空氣刀裝置，其特征在于，第二板體背離所述氣體腔室的外表面具有兩個導流槽。

4.根據權利要求3所述的空氣刀裝置，其特征在于，所述第一板體和第二板體通過兩排緊固螺絲固定連接，每一個所述緊固螺絲由第二板體穿過與第一板體固定連接，且每一排所述固定螺絲在所述第二板體上的一個導流槽內均勻分布。

5.根據權利要求1所述的空氣刀裝置，其特征在于，一個所述導流槽的兩個側壁中，靠近所述氣體噴射口的第一側壁與導流槽的槽底之間的夾角為銳角。

6.根據權利要求1所述的空氣刀裝置，其特征在于，至少一個所述導流槽的兩個側壁中，靠近所述氣體噴射口的第一側壁具有導流坡；沿所述導流坡的導流頂點指向導流底點的方向，所述導流坡的上游點距所述噴嘴部的端表面的距離，大于所述導流坡的下游點距所述噴嘴部的端表面的距離。

7.根據權利要求6所述的空氣刀裝置，其特征在于，所述第一側壁具有一個導流坡，所述導流坡的導流頂點為第一側壁的一端，所述導流坡的導流底點為第一側壁的另一端。

8.根據權利要求6所述的空氣刀裝置，其特征在于，所述第一側壁具有兩個導流坡，兩所述導流坡具有同一個導流頂點，一所述導流坡的導流底點為第一側壁的一端，另一所述導流坡的導流底點為第一側壁的另一端。

9.根據權利要求1所述的空氣刀裝置，其特征在于，所述氣體通入口為多個，且沿所述氣刀本體的長度方向均勻分布。

10.根據權利要求1-9任一項所述的空氣刀裝置，其特征在于，所述第一板體與第二板體相對的兩個面之間具有密封墊片。