[實用新型]一種具有水膜鋪開功能的濕法刻蝕機有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201220362057.2 | 申請日： | 2012-07-25 |
| 公開（公告）號： | CN202830170U | 公開（公告）日： | 2013-03-27 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 王虎;靳建光;蔡鐘明;邱小永 | 申請（專利權(quán)）人： | 浙江貝盛光伏股份有限公司 |
| 主分類號： | C23F1/08 | 分類號： | C23F1/08 |
| 代理公司： | 湖州金衛(wèi)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 33232 | 代理人： | 裴金華 |
| 地址： | 313000 浙江省*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 具有 鋪開 功能 濕法 刻蝕 | ||
1.一種具有水膜鋪開功能的濕法刻蝕機，所述濕法刻蝕機包括刻蝕機臺（1）和位于刻蝕機臺（1）上方的噴水裝置（2），其特征在于：在刻蝕機臺（1）上方噴水裝置（2）的一側(cè)設(shè)置有用于吹開由噴水裝置（2）噴淋到刻蝕機臺（1）上傳送的硅片（4）上表面的水膜（5）的吹風(fēng)裝置（3）。
2.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述一種具有水膜鋪開功能的濕法刻蝕機，其特征在于：所述吹風(fēng)裝置（3）位于所述噴水裝置（2）硅片（4）傳送方向的一側(cè)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述一種具有水膜鋪開功能的濕法刻蝕機，其特征在于：所述吹風(fēng)裝置（3）包括相互連接的送氣管和出氣頭，所述出氣頭上設(shè)置有朝向硅片的噴氣孔。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述一種具有水膜鋪開功能的濕法刻蝕機，其特征在于：所述噴氣孔噴氣方向與所述硅片行進方向呈30－80度角。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述一種具有水膜鋪開功能的濕法刻蝕機，其特征在于：所述吹風(fēng)裝置（3）上設(shè)置有多個噴氣孔。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述一種具有水膜鋪開功能的濕法刻蝕機，其特征在于：所述噴氣孔直徑為0.5-3mm。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述一種具有水膜鋪開功能的濕法刻蝕機，其特征在于：所述噴氣孔之間中心間距大于20mm。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述一種具有水膜鋪開功能的濕法刻蝕機，其特征在于：所述噴氣孔噴出的氣體為惰性氣體或壓縮空氣。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述一種具有水膜鋪開功能的濕法刻蝕機，其特征在于：所述惰性氣體為氮氣。
10.根據(jù)權(quán)利要求7、8或9所述一種具有水膜鋪開功能的濕法刻蝕機，其特征在于：所述吹風(fēng)裝置為PVC裝置。
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