[實用新型]半自動研磨裝置有效
| 申請號: | 201220352893.2 | 申請日: | 2012-07-20 |
| 公開(公告)號: | CN202726711U | 公開(公告)日: | 2013-02-13 |
| 發明(設計)人: | 馬香柏 | 申請(專利權)人: | 上海華虹NEC電子有限公司 |
| 主分類號: | B24B37/005 | 分類號: | B24B37/005;B24B37/11;B24B37/00 |
| 代理公司: | 上海浦一知識產權代理有限公司 31211 | 代理人: | 丁紀鐵 |
| 地址: | 201206 上*** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 半自動 研磨 裝置 | ||
1.一種半自動研磨裝置,其特征在于,包括:研磨機臺、研磨頭、升降桿及控制裝置,其中所述研磨頭安裝在所述研磨機臺上方,所述升降桿設置在所述研磨頭上方,所述控制裝置通過所述升降桿與所述研磨頭相連接。
2.如權利要求1所述半自動研磨裝置,其特征在于:所述研磨頭表面分布有不同大小及形狀的凹槽。
3.如權利要求1或2所述的半自動研磨裝置,其特征在于:所述研磨頭直徑為5mm-100mm。
4.如權利要求1或2所述的半自動研磨裝置,其特征在于:所述研磨頭中芯片的固定方式為吸附式。
5.如權利要求1或2所述的半自動研磨裝置,其特征在于:所述研磨頭中芯片的固定方式為粘附式。
6.如權利要去1所述的半自動研磨裝置,其特征在于:所述控制裝置包括研磨頭轉速控制裝置和升降控制裝置,其中所述研磨頭轉速控制裝置與所述升降控制裝置進行物理連接,所述研磨頭轉速控制裝置與所述升降控制裝置通過所述升降桿與所述研磨頭相連接。
7.如權利要去6所述的半自動研磨裝置,其特征在于:所述控制裝置還包括吸附控制裝置,所述吸附控制裝置與所述研磨頭轉速控制裝置和所述升降控制裝置物理連接,所述吸附控制裝置通過所述升降桿與所述研磨頭相連接。
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