[實用新型]內含三只垂直軸心的晶圓傳送機械手臂有效

申請號：	201220348374.9	申請日：	2012-07-18
公開（公告）號：	CN202716274U	公開（公告）日：	2013-02-06
發明（設計）人：	陳政勛	申請（專利權）人：	上海鼎之奇電子有限公司
主分類號：	B25J18/00	分類號：	B25J18/00
代理公司：	北京科億知識產權代理事務所(普通合伙) 11350	代理人：	湯東鳳
地址：	200233 上海市***	國省代碼：	上海;31
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摘要：
搜索關鍵詞：	內含垂直軸心傳送機械手臂
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【權利要求書】：

1.一種內含三只垂直軸心的晶圓傳送機械手臂，其特征在于，滾珠螺桿（4）與三支滑桿（5）分別與連接座（2）連接，訊號線導桿（15）穿過連接座（2）將連接基座（1）與連接底座（3）連接，滾珠螺桿螺帽固定組（24）將滾珠螺桿固定鎖住，垂直升降馬達（6）與馬達固定座（22）連接并置于連接底座（3），結合軸心保護蓋板（16,17,18）組裝于手臂主結構，組裝手臂側抽風扇蓋板組（12,13,14）分別與風扇側蓋組（19,20,21,23）連接并安裝于手臂主結構上，頂端抽風扇（10）與抽風導管（11）安裝于連接基座（1）上，滑桿保護蓋（7,8,9）安裝于手臂主體結構上。

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