[實用新型]內含三只垂直軸心的晶圓傳送機械手臂

有效

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• 申請日: 2012-07-18
• 公開（公告）號: CN202716274U
• 公開（公告）日: 2013-02-06
• 發(fā)明（設計）人: 陳政勛
• 申請（專利權）人: 上海鼎之奇電子有限公司
• 主分類號: B25J18/00
• 分類號: B25J18/00
• 代理公司: 北京科億知識產權代理事務所(普通合伙) 11350
• 代理人: 湯東鳳

技術領域

本實用新型涉及一種傳送機械手臂，具體涉及一種內含三只垂直軸心的晶圓傳送機械手臂。

背景技術

在現有的機械手臂的垂直結構中，滾珠螺桿及兩只滑桿形成一個平面，因此造成機械手臂在垂直方向運動到高點時，其結構會有搖晃擺動的現象；當設備不斷的進行生產約一年左右，此機械手臂的軸心零件，會因為承受不斷晃動的負荷加速其零件的鋼性疲乏，使機械手臂于傳送過程中晃動情況日益嚴重，直接影響晶圓傳送的穩(wěn)定性及準確性；當機械手臂傳送的穩(wěn)定度無法確保產品安全產出時，此設備必須暫停生產以進行機械手臂的零件更換及保養(yǎng)，此時便直接影響設備產能及增加工程人員的工作負擔當工廠內此類型設備數量增加時，所需進行保養(yǎng)及供換零件的機械手臂數量亦會增加，因而形成手臂維護成本以及工程人員工作負擔的增加。

實用新型內容

為解決上述現有技術中存在的缺點問題，本實用新型提供一種內含三只垂直軸心的晶圓傳送機械手臂。

本實用新型的內含三只垂直軸心的晶圓傳送機械手臂，滾珠螺桿（4）與三支滑桿（5）分別與連接座（2）連接，訊號線導桿（15）穿過連接座（2）將連接基座（1）與連接底座（3）連接，滾珠螺桿螺帽固定組（24）將滾珠螺桿固定鎖住，垂直升降馬達（6）與馬達固定座（22）連接并置于連接底座（3），結合軸心保護蓋板（16,17,18）組裝于手臂主結構，組裝手臂側抽風扇蓋板組（12,13,14）分別與風扇側蓋組（19,20,21,23）連接并安裝于手臂主結構上，頂端抽風扇（10）與抽風導管（11）安裝于連接基座（1）上，滑桿保護蓋（7,8,9）安裝于手臂主體結構上。

本實用新型的有益效果：

本實用新型的內含三只垂直軸心的晶圓傳送機械手臂，傳送的精準度及穩(wěn)定性高，偏擺現象降低，使用壽命延長，設備的維護周期延長，減輕工程人員的工作負擔。原技術的垂直軸心形成一個平面，當機械手臂進行晶圓傳送時，容易有偏擺的現象。而本技術方案為了改善偏擺現象，于機械手臂垂直軸心增加一只滑桿，使垂直軸心形成三角支撐，讓機械手臂在傳送過程中更加穩(wěn)定。

附圖說明

圖1是本實用新型的一種內含三只垂直軸心的晶圓傳送機械手臂的結構示意圖。

其中：1.?連接基座???2.?連接座??3.?連接底座??4.?滾珠螺桿??5.?滑桿??????6.?垂直升降馬達??7.?滑桿護蓋1??8.?滑桿護蓋2??9.?滑桿護蓋3??10.?頂端抽風扇????11.?抽風導管??12.?側抽風扇??13.?側抽風扇蓋板??14.?訊號線蓋板??15.?訊號線導管??16.?軸心保護上蓋??17.?軸心保護側蓋??18.?軸心保護下蓋??19.?風扇固定上蓋板????20.?風扇固定片??21.?風扇固定板??22.?馬達固定座??23.?風扇固定下蓋板???24.?滾珠螺桿螺帽固定組。

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型的優(yōu)選實施方式進行詳細說明。

實施例：

如圖1所示，一種內含三只垂直軸心的晶圓傳送機械手臂，滾珠螺桿（4）與三支滑桿（5）分別與連接座（2）連接，訊號線導桿（15）穿過連接座（2）將連接基座（1）與連接底座（3）連接，滾珠螺桿螺帽固定組（24）將滾珠螺桿固定鎖住，垂直升降馬達（6）與馬達固定座（22）連接并置于連接底座（3），結合軸心保護蓋板（16,17,18）組裝于手臂主結構，組裝手臂側抽風扇蓋板組（12,13,14）分別與風扇側蓋組（19,20,21,23）連接并安裝于手臂主結構上，頂端抽風扇（10）與抽風導管（11）安裝于連接基座（1）上，滑桿保護蓋（7,8,9）安裝于手臂主體結構上。

最后需要說明的是，以上所述僅為本實用新型的較佳實施例，而不是對本實用新型技術方案的限定，任何對本實用新型技術特征所做的等同替換或相應改進，仍在本實用新型的保護范圍之內。