[實用新型]一種連續精確調整微型零件位置的裝置

有效

• 申請號: 201220347180.7
• 申請日: 2012-07-17
• 公開（公告）號: CN202947920U
• 公開（公告）日: 2013-05-22
• 發明（設計）人: 戴旭涵;黃奕;汪紅;丁桂甫;趙小林;吳靜;何明軒
• 申請（專利權）人: 上海交通大學
• 主分類號: G01N1/36
• 分類號: G01N1/36
• 代理公司: 上海漢聲知識產權代理有限公司 31236
• 代理人: 郭國中

技術領域

本實用新型涉及一種MEMS領域中的裝置，具體地說，涉及的是一種連續精確調整微型零件位置的裝置。?

背景技術

在MEMS領域中，經常需要將微型力學試樣精確地放置在拉伸夾具的卡口中，如圖1所示。如采用傳統宏觀試樣拉伸實驗的方法，利用鑷子等簡易工具放置試樣，會對實驗造成以下幾點影響：第一，進樣、取樣空間狹小，操作困難，影響實驗效率；第二，用手持鑷子夾取試樣，用力控制不當，容易對試樣造成不可恢復的損害；第三，人工手動操作，定位精度較低，即使有顯微鏡的幫助也很難精確定位，從而影響實驗結果的準確性。?

實用新型內容

為了克服手工操作的不足，本實用新型提出了一種連續精確調整微型零件位置的裝置，可以快速準確地將微試樣置于實驗平臺的特定位置上，實驗后又能安全將試樣取下，給微試樣的觀測和操作帶來了極大的便利。?

本實用新型通過以下技術方案實現，本實用新型所述的連續精確調整微型零件位置的裝置，包括微調架、位于所述微調架上的進給底座、位于所述進給底座導軌中的進給支架以及位于所述進給支架前端的進給夾具、位于所述進給夾具試樣臺上的擋板。?

所述微調架可以在微米量級下調整試樣上下前后左右的位移，其底部和頂部設有定位孔，底部定位孔便于將整個裝置固定在實驗平臺上，頂部定位孔可以將所述進給底座固定在微調架上。?

所述進給底座包含導軌和限位裝置，所述的進給支架可以在導軌內滑動并通過限位裝置固定在導軌中。該設置可以將試樣快速移動至所需位置的附近，然后?再依靠所述微調架的微調，最終將試樣精確定位，大大提高了實驗的效率。?

所述進給夾具上包含試樣臺、微進給臂、固定底板。微進給臂位于試樣臺和固定底板之間，其寬度小于試樣臺的寬度，固定底板將進給夾具固定在進給支架上。試樣依靠重力的作用固定在試樣臺上，相對于其他方法，這樣做既簡化了實驗裝置同時又保護了試樣。?

所述試樣臺上設有兩段L型的半封閉擋板，擋板的間距大于微試樣的尺寸。?

本實用新型的有益效果是：?

①有效保護了試樣的安全，整個操作過程主要依靠微調架的微米級調整來移動試樣的位置，依靠重力實現樣品的固定，操作力可以通過微調架精密調整試樣與夾具的相對位置來控制，不易損壞試樣。?

②定位高效、精確，借助進給支架在進給底座中的滑動可以將試樣快速移動至拉伸夾具正上方附近，再利用微調架作精確調整，由于微調架的調整精度為微米量級，因此能夠將試樣準確放置于拉伸夾具上。?

③操作方便，降低了試樣放置在進給夾具上的定位要求，只要試樣位于試樣臺上，即使試樣位置不在試樣臺中心或試樣位置發生傾斜，仍可以利用微調架快速調整其位置滿足進樣要求。?

附圖說明

圖1為微型力學試樣放置在拉伸夾具的卡口中示意圖；?

圖1中：100-拉伸夾具，200-微型力學試樣，300-卡口。?

圖2：連續精確調整微型零件位置的裝置結構示意圖。?

圖2中：1-微調架；2-進給底座；3-進給支架；4-進給夾具。?

圖3為微調架結構示意圖；?

圖3中：5-裝載平臺；6-水平微調旋鈕①（X方向）；7-水平微調旋鈕②（Y方向）；8-垂直微調旋鈕（Z方向）。?

圖4為進給底座結構示意圖。?

圖4中：9-導軌；10-定位螺絲?

圖5為進給夾具結構示意圖。?

圖5中：11-固定底板；12-微進給臂；13-試樣臺；14-半封閉L型擋板。?

圖6為L型的半封閉擋板與試樣工作位置示意圖；?

圖7為試樣高度與拉伸夾具工作調整示意圖；?

圖8為試樣與拉伸夾具平行調整示意圖；?

圖9為微進給臂與拉伸夾具調整使用示意圖，其中圖（a）是微進給臂較窄，無干涉示意圖；圖（b）是微進給臂較寬，有干涉示意圖。?

具體實施方式

以下結合附圖和實施例以本實用新型技術方案為前提進行實施，給出了詳細的實施方式和過程，但本實用新型的保護范圍不限于下述的實施例。?

如圖2所示，連續精確調整微型零件位置的裝置結構示意圖。圖中：1-微調架；2-進給底座；3-進給支架；4-進給夾具。進給底座2固定于微調架1上方，進給支架3置于進給底座2中，進給夾具4固定在進給支架3的前端。?