[實(shí)用新型]一種薄膜濺射設(shè)備靶極冷卻銅背板冷卻裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201220342577.7
• 申請日: 2012-07-16
• 公開（公告）號: CN202730222U
• 公開（公告）日: 2013-02-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 周文彬;劉幼海;劉吉人
• 申請（專利權(quán)）人: 吉富新能源科技(上海)有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

所屬技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型關(guān)于屬于濺射設(shè)備靶極冷卻裝置，具體涉及一種薄膜濺射設(shè)備靶極冷卻銅背板冷卻裝置。?

背景技術(shù)

本實(shí)用新型系為一種薄膜濺射設(shè)備靶極冷卻銅背板冷卻裝置，薄膜設(shè)備靶極冷卻水循環(huán)系統(tǒng)是極為重要的一部分，負(fù)責(zé)將濺射等離子體靶材產(chǎn)生的高溫藉由冷卻銅背板內(nèi)的循環(huán)冷卻水系統(tǒng)將熱源帶到冷卻系統(tǒng)后冷卻，使靶材能在等離子體轟擊下保持一定的溫度，否則靶材會(huì)因高溫融化或破裂而無法在進(jìn)行等離子體轟擊，導(dǎo)致無法沉積薄膜，如此一來就需要更換新的靶材或拆卸下進(jìn)行修復(fù)，不僅耗費(fèi)成本也增加設(shè)備停機(jī)維修的時(shí)間。?

現(xiàn)有技術(shù)使用介質(zhì)設(shè)置于銅背板與靶極中間，使用間接冷卻的方式，藉由靶極內(nèi)部通入冷卻水循環(huán)方式產(chǎn)生冷源，而中間的介質(zhì)最為溫度的傳遞以冷卻銅背板上接合的靶材，然而現(xiàn)有技術(shù)的冷卻方式對于高功率的濺射模式下會(huì)有冷卻能力不足的現(xiàn)象，造成靶材落裂或是焊接脫落。?

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型主要目的系提供一種薄膜濺射設(shè)備靶極冷卻銅背板冷卻裝置，本實(shí)用新型采用的方案是；靶材置于銅背板下方并進(jìn)行焊接，使靶材背面緊密貼和在銅背板上，確保冷卻能順利進(jìn)行，不會(huì)因空隙產(chǎn)生多馀的熱阻，影響冷卻效果，銅背板正面設(shè)置水路系統(tǒng)，包括一進(jìn)水口極一出水口，銅背板內(nèi)部設(shè)置5個(gè)水道且水道頭尾相通，使冷卻水能順利流通，各水道頭尾設(shè)置有長方形凹槽，能使水流加速，水道隔間條上設(shè)置有橡膠密封圈，使水道能照設(shè)置的流向前進(jìn)，不會(huì)產(chǎn)生水壓及流速的損失，當(dāng)冷卻水由進(jìn)水口流入后，就順著水道前進(jìn)，一直到出水口流出，其中接觸銅背板的時(shí)間及長度增加了冷卻能力，使靶極能充分冷卻，達(dá)到正常的工作溫度，同時(shí)也冷卻了靶材，使濺射設(shè)備保持持續(xù)的工作狀態(tài)，減少維修的時(shí)間。?

附圖說明

圖1系為本實(shí)用新型之結(jié)構(gòu)示意圖。?

圖2系為本實(shí)用新型剖面示意圖。?

主要組件符號說明。?

11．．．銅背板主體。?

12．．．進(jìn)水口。?

13．．．水道。?

14．．．長方形凹槽。?

15．．．出水口。?

21．．．水道隔板。?

具體實(shí)施方式

為使方便簡捷了解本實(shí)用新型之其他特征內(nèi)容與優(yōu)點(diǎn)及其所達(dá)成之功效能夠更為顯現(xiàn)，茲將本實(shí)用新型配合附圖詳細(xì)說明如下：請參閱圖1本實(shí)用新型之主要目的系提供一種薄膜濺射設(shè)備靶極冷卻銅背板冷卻裝置，是由銅背板主體11、進(jìn)水口12、水道13、長方形凹槽14及出水口15所組成，請參閱圖2所示，銅背板主體11設(shè)置有4個(gè)水道隔板21，當(dāng)冷卻水由進(jìn)水口12流入后，沿著被水道隔板21間隔出的水道13前進(jìn)，途中經(jīng)過各水道頭尾相連的長方形凹槽14加速以保持冷卻水的流速，最后再由冷卻水由出水口15流出至外部冷卻水循環(huán)系統(tǒng)。?

所述的銅背板主體11厚度為25mm。?

????所述的水道13寬度為59mm。?

????所述的長方形凹槽14長為63mm，寬為43mm?

與現(xiàn)有技術(shù)相比，如此反復(fù)循環(huán)以確保靶極在工作中仍能維持一定溫度，濺鍍設(shè)備不會(huì)因高溫發(fā)生故障，減少設(shè)備停機(jī)造成的損失。

綜上所述，本實(shí)用新型在突破先前之技術(shù)結(jié)構(gòu)下，確實(shí)已達(dá)到所欲增進(jìn)之功效，且也非熟悉該項(xiàng)技藝者所易于思及，其所具之進(jìn)步性、實(shí)用性，顯已符合實(shí)用新型專利之申請要件，惟上列詳細(xì)說明系針對本實(shí)用新型之一可行實(shí)施例之具體說明，該實(shí)施例并非用以限制本實(shí)用新型之專利范圍，而凡未脫離本實(shí)用新型技藝精神所為之等效實(shí)施或變更，均應(yīng)包含于本案之專利范圍中。?