[實用新型]一種薄膜濺射設備靶極冷卻銅背板冷卻裝置有效
| 申請號： | 201220342577.7 | 申請日： | 2012-07-16 |
| 公開（公告）號： | CN202730222U | 公開（公告）日： | 2013-02-13 |
| 發明（設計）人： | 周文彬;劉幼海;劉吉人 | 申請（專利權）人： | 吉富新能源科技(上海)有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/34 | 分類號： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 201707 上海市青*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 薄膜 濺射 設備 冷卻 背板 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種薄膜濺射設備靶極冷卻銅背板冷卻裝置，包括銅背板主體11、進水口12、水道13、長方形凹槽14及出水口15所組成。
2.根據權利要求1所述之一種薄膜濺射設備靶極冷卻銅背板冷卻裝置，其特征在于，所述銅背板主體厚度為25mm。
3.根據權利要求1所敘述之一種薄膜濺射設備靶極冷卻銅背板冷卻裝置，其特征在于，所述各水道寬度為59mm。
4.根據權利要求1所敘述之一種薄膜濺射設備靶極冷卻銅背板冷卻裝置，其特征在于，所述長方形凹槽長為63mm，寬為43mm。
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