[實用新型]復合型真空規校準系統

有效

• 申請號: 201220342198.8
• 申請日: 2012-07-16
• 公開（公告）號: CN202793685U
• 公開（公告）日: 2013-03-13
• 發明（設計）人: 盧耀文
• 申請（專利權）人: 盧耀文
• 主分類號: G01L27/00
• 分類號: G01L27/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及一種復合型真空規校準系統，屬于測量技術領域。?

背景技術

隨著科技的發展，諸如航空航天、表面、微電子、太陽能、光電子等行業中對真空校準測試提出了更高要求，需要現場對各種真空環境進行測試并完成真空規的校準。而文獻“比對法真空計量標準裝置的研制”，《宇航計測技術》第66期、1992年第6期、第70～73頁”，介紹了比對法真空規的校準方法及校準系統，但校準范圍為10⁵～10^-4Pa，而且在10^-1～10^-4Pa壓力范圍內通過磁懸浮轉子規進行測量，這種測量方法的下限受制于磁懸浮轉子規測量下限，同時磁懸浮轉子規成本比較昂貴，再加上該系統比較龐大，只適合在實驗室使用，無法滿足現場寬量程高精度真空規的校準需求。?

文獻“動態流量法超高標準真空裝置”，《真空科學與技術學報》第19卷、1999年第5期、第400～402頁”，介紹了采用恒壓式流量計校準真空規的方法，但恒壓式流量計研制成本高，裝置非常龐大，只適合實驗室校準超高真空規，也不能實現現場寬量程真空規的校準。?

實用新型內容

本實用新型的目的是為了解決現有技術中真空規校準系統龐大、生產成本高的問題，提出了一種復合型真空規校準系統。?

本實用新型是通過下述技術方案實現的。?

本實用新型的一種復合型真空規校準裝置，包括：機械泵、分子泵、第一真空閥門、第二真空閥門、第三真空閥門、第四真空閥門、第五真空閥門、第六真空閥門、第七真空閥門、真空規、電容薄膜規、第三真空規、校準室、第一小孔、第二小孔、氣源。?

其連接關系為：機械泵與第一真空閥門相連接；第一真空閥門另一端與分子泵相連接；第二真空閥門的一端與分子泵連接，另一端通過第二小孔與校準室連接；第三真空閥門與第一真空閥門、分子泵、第二真空閥門并聯；校準室?又分別與第一真空規、第三真空規、第一小孔和第五真空閥門相連接；第一小孔的另一側依次與第四真空閥門、第七真空閥門相連接；第五真空閥門的另一側與電容薄膜規相連接；用管路連通第四真空閥門、第五真空閥門，使校準室、第一小孔、第四真空閥門、第五真空閥門形成一個回路，管路上設置第六真空閥門；?

所述的第一小孔的直徑為2um，第二小孔的直徑為11mm；所述的第六真空閥門為三通閥門，帶1mL的取樣室。?

本實用新型公開的一種復合型真空規校準方法，具體步驟如下：?

步驟一、將被校準的真空規安裝在校準室上，并進行檢漏；?

步驟二、然后打開機械泵，第一真空閥門、第二真空閥門、第四真空閥門、第五真空閥門、第六真空閥門，打開真空規、電容薄膜規，并保持環境溫度為23±3℃；?

步驟三、采用真空規作為監測真空規，當其測量校準室中壓力小于1Pa時，打開分子泵對校準室抽氣；?

步驟四、在真空規測量校準室中壓力小于0.1Pa且電容薄膜規穩定4小時以上時，對電容薄膜規進行調零；?

步驟五、在校準室中的壓力小于5×10^-7Pa時，關閉第五真空閥門，采用微調第七真空閥門用氣源向第一小孔入口提供10²～10⁴Pa壓力P₁的氣體，采用電容薄膜規測量該校準室壓力的大小，通過動態流導法可在校準室中產生10^-6～10^-4Pa的標準壓力P₂，標準壓力為?時記錄被校準真空規的指示值P_c，計算出修正?其中C₁、C₂分別為第一小孔和第二小孔的分子流導；?

步驟六、關閉第四真空閥門，通過微調第七真空閥門向管道引入氣體，通過電容薄膜規測量壓力大小P₁，通過第六真空閥門取氣體，取樣的體積為V，約等于1mL，標準壓力范圍為2×10^-3～20Pa，緩慢打開第五真空閥門將管道中的氣體抽除，當真空室壓力小于1×10^-5Pa時，關閉第二真空閥門，然后打開第六真空閥門將所取氣體膨脹到校準室中膨脹后的體積為V′，則標準壓力為?

同時記錄被校準的真空規的指示值P_c，計算出修正?