[實用新型]復合型真空規校準系統有效

申請號：	201220342198.8	申請日：	2012-07-16
公開（公告）號：	CN202793685U	公開（公告）日：	2013-03-13
發明（設計）人：	盧耀文	申請（專利權）人：	盧耀文
主分類號：	G01L27/00	分類號：	G01L27/00
代理公司：	暫無信息	代理人：	暫無信息
地址：	100081 ***	國省代碼：	北京;11
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摘要：
搜索關鍵詞：	復合型真空校準系統
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【權利要求書】：

1.復合型真空規校準系統，其特征在于：包括機械泵(1)、分子泵(3)、第一真空閥門(2)、第二真空閥門(4)、第三真空閥門(5)、第四真空閥門(9)、第五真空閥門(10)、第六真空閥門(12)、第七真空閥門(13)、真空規(7)、電容薄膜規(11)、第三真空規(14)、校準室(6)、第一小孔(8)、第二小孔(15)、氣源(16)；機械泵(1)同時與第一真空閥門(2)相連接；第一真空閥門(2)另一端與分子泵(3)相連接；第二真空閥門(4)的一端與分子泵(3)連接，另一端通過第二小孔(15)與校準室(6)連接；第三真空閥門(5)與第一真空閥門(2)、分子泵(3)、第二真空閥門(4)并聯；校準室(6)又分別與第一真空規(7)、第三真空規(14)、第一小孔(8)和第五真空閥門(10)相連接；第一小孔(8)的另一側依次與第四真空閥門(9)、第七真空閥門(13)相連接；第五真空閥門(10)的另一側與電容薄膜規(11)相連接；用管路連通第四真空閥門(9)、第五真空閥門(10)，使校準室(6)、第一小孔(8)、第四真空閥門(9)、第五真空閥門(10)形成一個回路，管路上設置第六真空閥門(12)。?

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