[實用新型]硅片清洗脫膠夾具

有效

• 申請號: 201220334481.6
• 申請日: 2012-07-11
• 公開（公告）號: CN202762707U
• 公開（公告）日: 2013-03-06
• 發明（設計）人: 鄭軍鋒;申朝鋒
• 申請（專利權）人: 西安隆基硅材料股份有限公司;無錫隆基硅材料有限公司;寧夏隆基硅材料有限公司;銀川隆基硅材料有限公司
• 主分類號: B08B13/00
• 分類號: B08B13/00
• 代理公司: 西安弘理專利事務所 61214
• 代理人: 羅笛

技術領域

本實用新型屬于機械設備技術領域，涉及一種硅片清洗脫膠夾具。

背景技術

在單晶硅片切割之前，需要將硅棒粘在玻璃板上進行切割，切割成硅片后，經過清洗脫膠，使硅片脫離玻璃板。

現有的硅片清洗脫膠過程中，硅片清洗脫膠夾具設有擋板，擋板能有效地固定脫膠后的硅片，但是擋板會損傷硅片，影響硅片質量，降低了良品率。

發明內容

本實用新型的目的是提供一種硅片清洗脫膠夾具，解決了現有技術中擋板設置不科學，硅片易損傷、良品率低的問題。

本實用新型所采用的技術方案是，一種硅片清洗脫膠夾具，包含脫膠籃和硅片夾持部分，

所述脫膠籃結構是，包括第一側板和第二側板、以及安裝于兩側板之間的一對橫桿和一對支撐桿，其中的第一側板和第二側板相對平行設置，一對橫桿設置在第一側板和第二側板之間的上段位置，與該兩側板固定連接；一對支撐桿設置在第一側板和第二側板之間的下段位置，與該兩側板固定連接；

所述硅片夾持部分包括兩組條刷支撐機構，

每組條刷支撐機構包含一個條刷、若干個條刷固定塊、兩個扭簧和一個支承軸，條刷同時固定于每組條刷固定塊上的條刷安裝槽中，條刷固定塊上設有第一孔，每組條刷固定塊均通過各自的第一孔同軸穿在同一個支承軸上；每個支承軸一端與第一側板連接，每個支承軸另一端與第二側板連接。

本實用新型的硅片清洗脫膠夾具，其特征還在于：

所述的每個支承軸兩端各設置有一個扭簧，其中一個扭簧一端與第一側板固定連接，另一端和手柄固定連接；另一個扭簧一端與第二側板固定連接，另一端和手柄固定連接。

所述的條刷固定塊還設有第二孔，所述每組條刷固定塊的第二孔內共同穿有一轉動軸。

本實用新型的有益效果是，結構合理，徹底解決了硅片易滑倒、良品率低的問題，用于對薄的盤片如半導體晶片、玻璃基片或類似物品夾持，特別用于太陽能硅片進行清洗脫膠時的夾持。

附圖說明

圖1是本實用新型裝置的前視結構示意圖；

圖2為本實用新型裝置的側視結構示意圖；

圖3為本實用新型裝置實施例1的條刷固定塊的單孔結構示意圖；

圖4為本實用新型裝置實施例2的條刷固定塊的雙孔結構示意圖。

圖中，1.硅片，2.條刷，3.條刷固定塊，4.扭簧，5.支承軸，6.支撐桿，7.第一側板，8.第二側板，9.橫桿，10.第一孔，11.第二孔，12.條刷安裝槽，13.手柄。

具體實施方式

下面結合附圖和具體實施方式對本實用新型進行詳細說明。

參照圖1、圖2，本實用新型的硅片清洗脫膠夾具，包含脫膠籃和硅片夾持部分，

所述脫膠籃結構是，包括第一側板7、第二側板8、以及安裝于兩側板之間的一對橫桿9和一對支撐桿6，其中的第一側板7和第二側板8相對平行設置，一對橫桿9設置在第一側板7和第二側板8之間，位于該兩側板相對面的上段，一對橫桿9的兩端與該兩側板固定連接；一對支撐桿6設置在第一側板7和第二側板8之間，位于該兩側板相對面的下段，一對支撐桿6的兩端與該兩側板固定連接；

所述硅片夾持部分包括兩組條刷支撐機構，每組條刷支撐機構包含一個條刷2、若干個條刷固定塊3、兩個扭簧4和一個支承軸5，條刷2同時固定于若干個條刷固定塊3上的條刷安裝槽12中，條刷固定塊3上設有第一孔10，若干個條刷固定塊3通過第一孔10同軸穿在同一個支承軸5上；每個支承軸5一端與第一側板7連接，每個支承軸5另一端與第二側板8連接，每個支承軸5兩端各設置有一個扭簧4，其中一個扭簧4一端與第一側板7固定連接，另一端和手柄13固定連接；另一個扭簧4一端與第二側板8固定連接，另一端和手柄13固定連接。

參照圖3，實施例1中的支承軸5是可以轉動的，手柄13是用來手動操作轉動支承軸5的。

參照圖4，每個條刷固定塊3還可以設有第二孔11，每組條刷固定塊3的第二孔11內共同穿有一轉動軸，采用轉動軸取代實施例1中的手柄，通過在第二孔中共同穿有一根轉動軸來實現轉動支承軸5。

當條刷支撐機構不工作的時候處于自由狀態，條刷2與硅片1處于不接觸狀態；當條刷支撐機構處于工作狀態的時候，條刷2與硅片1接觸并底部平行。

本實用新型的硅片清洗脫膠夾具，在進行硅片脫膠時，先將條刷支撐機構的手柄打開，自由釋放。然后將待脫膠硅片1放進脫膠籃，等沖干凈硅片后，將手柄轉到工作狀態，使兩邊的條刷2從底往上轉動，直至支撐住硅片1，將手柄在此狀態用限位擋固定，開始脫膠。脫膠完成后，將手柄轉到撈料狀態，撈料狀態介于工作狀態和自由狀態之間，在撈料的時候，將條刷支撐機構傾斜，硅片降落到支撐桿6上，但是條刷支撐機構還要與硅片接觸，起到支承作用，開始進行撈料。撈料完成后，將手柄轉到自由狀態，一次脫膠工作完成。