[實用新型]硅片清洗脫膠夾具

有效

• 申請號: 201220334481.6
• 申請日: 2012-07-11
• 公開（公告）號: CN202762707U
• 公開（公告）日: 2013-03-06
• 發明（設計）人: 鄭軍鋒;申朝鋒
• 申請（專利權）人: 西安隆基硅材料股份有限公司;無錫隆基硅材料有限公司;寧夏隆基硅材料有限公司;銀川隆基硅材料有限公司
• 主分類號: B08B13/00
• 分類號: B08B13/00
• 代理公司: 西安弘理專利事務所 61214
• 代理人: 羅笛

1.一種硅片清洗脫膠夾具，其特征在于：包含脫膠籃和硅片夾持部分，

所述脫膠籃結構是，包括第一側板（7）和第二側板（8）、以及一對橫桿（9）和一對支撐桿（6），其中的第一側板（7）和第二側板（8）相對平行設置，一對橫桿（9）設置在第一側板（7）和第二側板（8）之間的上段位置，一對橫桿（9）的兩端與該兩側板固定連接；一對支撐桿（6）設置在第一側板（7）和第二側板（8）之間的下段位置，一對支撐桿（6）的兩端與該兩側板固定連接；

所述硅片夾持部分包括兩組條刷支撐機構，

每組條刷支撐機構包含一個條刷（2）、若干個條刷固定塊（3）、兩個扭簧（4）和一個支承軸（5），條刷（2）同時固定于每組條刷固定塊（3）上的條刷安裝槽（12）中，條刷固定塊（3）上設有第一孔（10），每組條刷固定塊（3）均通過各自的第一孔（10）同軸穿在同一個支承軸（5）上；每個支承軸（5）一端與第一側板（7）連接，每個支承軸（5）另一端與第二側板（8）連接。

2.根據權利要求1所述的硅片清洗脫膠夾具，其特征在于：所述的每個支承軸（5）兩端各設置有一個扭簧（4），其中一個扭簧（4）一端與第一側板（7）固定連接，另一端和手柄（13）固定連接；另一個扭簧（4）一端與第二側板（8）固定連接，另一端和手柄（13）固定連接。

3.根據權利要求1所述的硅片清洗脫膠夾具，其特征在于：所述的條刷固定塊（3）還設有第二孔（11），所述每組條刷固定塊（3）的第二孔（11）內共同穿有一轉動軸。