[實用新型]有機層沉積設備和有機發光顯示裝置

有效

• 申請號: 201220319909.X
• 申請日: 2012-07-02
• 公開（公告）號: CN202786403U
• 公開（公告）日: 2013-03-13
• 發明（設計）人: 張錫洛;南命佑;康熙哲;金鐘憲;洪鐘元;蔣允豪
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: C23C14/12
• 分類號: C23C14/12;C23C14/24;C23C14/50;H05B33/10;H01L51/56
• 代理公司: 北京銘碩知識產權代理有限公司 11286
• 代理人: 韓明星

本申請要求于2011年7月4日在韓國知識產權局提交的第10-2011-0066124號韓國專利申請的優先權和權益，該韓國專利申請的公開通過引用全部包含于此。

技術領域

根據本實用新型實施例的多個方面涉及一種有機層沉積設備和一種通過利用該有機層沉積設備來制造有機發光顯示裝置的方法。

背景技術

有機發光顯示裝置與其他顯示裝置相比具有較大的視角、較好的對比度特性和較快的響應速度，因此作為下一代顯示裝置而備受關注。

有機發光顯示裝置通常具有包括陽極、陰極及置于陽極和陰極之間的發射層的堆疊結構。當分別從陽極和陰極注入的空穴和電子在發射層中復合而發光時，這樣的裝置顯示有顏色的圖像。然而，利用這種結構難以實現高的發光效率，因此包括電子注入層、電子傳輸層、空穴傳輸層、空穴注入層等的中間層可以額外地置于發射層和每個電極之間。

實用新型內容

為了解決現有技術中的不容易制造例如大尺寸的有機發光顯示裝置和/或用于制造有機發光顯示裝置的有機層沉積裝置的問題和/或其他問題，根據本實用新型實施例的多個方面在于提供一種有機層沉積設備和一種利用該有機層沉積設備制造有機發光顯示裝置的方法，該有機層沉積設備可以容易地制造，可以應用于以簡單的方式大規模地制造大型顯示裝置，并且提高了制造產率和沉積效率。

根據本實用新型的實施例，提供了一種有機層沉積設備，所述有機層沉積設備包括：靜電吸盤，支撐基板；沉積單元，包括保持一定真空的室以及有機層沉積組件，有機層沉積組件在由靜電吸盤支撐的基板上沉積至少一層有機層；第一輸送器單元，穿過所述室并且將支撐基板的靜電吸盤移動到沉積單元中，其中，第一輸送器單元包括引導單元，引導單元包括接納構件，以使靜電吸盤與第一輸送器單元分隔開的同時使靜電吸盤可沿著一定的方向移動，其中，基板與有機層沉積組件分隔開，基板或有機層沉積組件被構造成在沉積過程中相對于另一者移動。

在一個實施例中，有機層沉積設備還包括：裝載單元，將基板固定到靜電吸盤；卸載單元，使已經完成沉積的基板與靜電吸盤分離。第一輸送器單元可以被構造為將靜電吸盤順序地移動到裝載單元、沉積單元和卸載單元。有機層沉積設備還可以包括第二輸送器單元，使與基板分離的靜電吸盤從卸載單元返回到裝載單元。

在一個實施例中，引導單元包括：驅動單元，產生移動靜電吸盤的驅動力；磁懸浮軸承，使靜電吸盤懸浮在接納構件上方而不與接納構件接觸地移動。驅動單元可以包括線性電機。線性電機可以包括設置在靜電吸盤的一側的磁軌和設置在接納構件中的線圈。磁懸浮軸承可以包括設置在靜電吸盤一側的側部磁懸浮軸承和設置在靜電吸盤上的上部磁懸浮軸承，驅動單元可以設置在靜電吸盤的一側。磁懸浮軸承可以包括從由電磁體、永磁體、超導磁體和它們的組合組成的組中選擇的磁體。

在一個實施例中，有機層沉積設備還包括間隙傳感器，測量接納構件與靜電吸盤之間的間隙。所述有機層沉積設備還可以包括由間隙傳感器控制的磁懸浮軸承，以提供使靜電吸盤懸浮在接納構件上方的磁力。磁懸浮軸承可以包括設置在靜電吸盤一側的側部磁懸浮軸承和設置在靜電吸盤上的上部磁懸浮軸承。間隙傳感器可以包括：第一間隙傳感器，測量靜電吸盤與第一輸送器單元之間的沿著第一方向的間隙；第二間隙傳感器，測量靜電吸盤與第一傳感器單元之間的沿著與第一方向交叉的第二方向的間隙。

在一個實施例中，有機層沉積設備還包括：第一磁懸浮軸承，使靜電吸盤懸浮而與第一輸送器單元沿著第一方向分隔開；第二磁懸浮軸承，使靜電吸盤懸浮而與第一輸送器單元沿著與第一方向交叉的第二方向分隔開。

在一個實施例中，接納構件包括接納靜電吸盤的相對的側部的接納槽。

在一個實施例中，有機層沉積組件包括設置在所述室中的多個有機層沉積組件。

在一個實施例中，所述室包括彼此互連的第一室和第二室，有機層沉積組件包括設置在第一室和第二室中的每個室中的多個有機層沉積組件。

在一個實施例中，有機層沉積組件包括：沉積源，被構造為排放沉積材料；沉積源噴嘴單元，設置在沉積源的一側并且包括多個沉積源噴嘴；圖案化縫隙片，設置成與沉積源噴嘴單元面對并分隔開，具有多個圖案化縫隙，并且比基板小。

根據本實用新型的另一實施例，提供了一種有源矩陣有機發光顯示裝置，所述有源矩陣有機發光顯示裝置包括：基板，具有至少40英寸的尺寸；利用上述有機層沉積設備形成在基板上的具有線性圖案的至少一層有機層。