[實用新型]有機層沉積設(shè)備和有機發(fā)光顯示裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201220319909.X
• 申請日: 2012-07-02
• 公開（公告）號: CN202786403U
• 公開（公告）日: 2013-03-13
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張錫洛;南命佑;康熙哲;金鐘憲;洪鐘元;蔣允豪
• 申請（專利權(quán)）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: C23C14/12
• 分類號: C23C14/12;C23C14/24;C23C14/50;H05B33/10;H01L51/56
• 代理公司: 北京銘碩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11286
• 代理人: 韓明星

1.一種有機層沉積設(shè)備，其特征在于，所述有機層沉積設(shè)備包括：

靜電吸盤，支撐基板；

沉積單元，包括保持一定真空的室以及有機層沉積組件，有機層沉積組件在由靜電吸盤支撐的基板上沉積至少一層有機層；以及

第一輸送器單元，穿過所述室并且將支撐基板的靜電吸盤移動到沉積單元中，

其中，第一輸送器單元包括引導單元，引導單元包括接納構(gòu)件，以使在靜電吸盤與第一輸送器單元分隔開的同時使靜電吸盤能夠沿著一定的方向移動，

其中，基板與有機層沉積組件分隔開，基板或有機層沉積組件被構(gòu)造成在沉積過程中相對于另一者移動。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機層沉積設(shè)備，其特征在于，所述有機層沉積設(shè)備還包括：

裝載單元，將基板固定到靜電吸盤；

卸載單元，使已經(jīng)完成沉積的基板與靜電吸盤分離。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的有機層沉積設(shè)備，其特征在于，第一輸送器單元被構(gòu)造為將靜電吸盤順序地移動到裝載單元、沉積單元和卸載單元。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的有機層沉積設(shè)備，其特征在于，所述有機層沉積設(shè)備還包括第二輸送器單元，以使與基板分離的靜電吸盤從卸載單元返回到裝載單元。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機層沉積設(shè)備，其特征在于，引導單元包括：

驅(qū)動單元，產(chǎn)生移動靜電吸盤的驅(qū)動力；

磁懸浮軸承，使靜電吸盤懸浮在接納構(gòu)件上方而不與接納構(gòu)件接觸地移動。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的有機層沉積設(shè)備，其特征在于，驅(qū)動單元包括線性電機。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的有機層沉積設(shè)備，其特征在于，線性電機包括設(shè)置在靜電吸盤的一側(cè)處的磁軌和設(shè)置在接納構(gòu)件中的線圈。

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的有機層沉積設(shè)備，其特征在于，磁懸浮軸承包括設(shè)置在靜電吸盤一側(cè)處的側(cè)部磁懸浮軸承和設(shè)置在靜電吸盤上的上部磁懸浮軸承，驅(qū)動單元設(shè)置在靜電吸盤的一側(cè)處。

9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的有機層沉積設(shè)備，其特征在于，磁懸浮軸承包括從由電磁體、永磁體、超導磁體和它們的組合組成的組中選擇的磁體。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機層沉積設(shè)備，其特征在于，所述有機層沉積設(shè)備還包括間隙傳感器，以測量接納構(gòu)件與靜電吸盤之間的間隙。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的有機層沉積設(shè)備，其特征在于，所述有機層沉積設(shè)備還包括由間隙傳感器控制的磁懸浮軸承，以提供使靜電吸盤懸浮在接納構(gòu)件上方的磁力。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的有機層沉積設(shè)備，其特征在于，磁懸浮軸承包括設(shè)置在靜電吸盤一側(cè)處的側(cè)部磁懸浮軸承和設(shè)置在靜電吸盤上的上部磁懸浮軸承。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的有機層沉積設(shè)備，其特征在于，間隙傳感器包括：第一間隙傳感器，測量靜電吸盤與第一輸送器單元之間的沿著第一方向的間隙；第二間隙傳感器，測量靜電吸盤與第一傳感器單元之間的沿著與第一方向交叉的第二方向的間隙。

14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機層沉積設(shè)備，其特征在于，所述有機層沉積設(shè)備還包括：

第一磁懸浮軸承，使靜電吸盤懸浮而與第一輸送器單元沿著第一方向分隔開；

第二磁懸浮軸承，使靜電吸盤懸浮而與第一輸送器單元沿著與第一方向交叉的第二方向分隔開。

15.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機層沉積設(shè)備，其特征在于，接納構(gòu)件包括接納靜電吸盤的相對的側(cè)部的接納槽。

16.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機層沉積設(shè)備，其特征在于，有機層沉積組件包括設(shè)置在所述室中的多個有機層沉積組件。

17.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機層沉積設(shè)備，其特征在于，所述室包括彼此互連的第一室和第二室，有機層沉積組件包括設(shè)置在第一室和第二室中的每個室中的多個有機層沉積組件。

18.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機層沉積設(shè)備，其特征在于，有機層沉積組件包括：

沉積源，被構(gòu)造為排放沉積材料；

沉積源噴嘴單元，設(shè)置在沉積源的一側(cè)處并且包括多個沉積源噴嘴；

圖案化縫隙片，設(shè)置成與沉積源噴嘴單元面對并分隔開，具有多個圖案化縫隙，并且比基板小。