[實用新型]基板搬運裝置有效
| 申請號： | 201220316252.1 | 申請日： | 2012-06-29 |
| 公開（公告）號： | CN202765819U | 公開（公告）日： | 2013-03-06 |
| 發明（設計）人： | 藤村晉吾;別府浩喜;內藤真治;黑田英矢 | 申請（專利權）人： | 富士機械制造株式會社 |
| 主分類號： | B65G47/74 | 分類號： | B65G47/74;B65G49/06 |
| 代理公司： | 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219 | 代理人： | 穆德駿;謝麗娜 |
| 地址： | 日本愛知*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 搬運 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種基板搬運裝置，其特征在于，具備：
一對支撐部件，沿著基板的搬運方向延伸、且以能夠在與該搬運方向垂直的方向上相對移動的方式進行架裝；
一對導軌，并列設置于所述一對支撐部件上，并設有對由該基板搬運裝置所搬運的基板的側面進行引導的引導部和配置于所述引導部上方的緊固部；
寬度變更機構，由電動馬達驅動以改變所述一對支撐部件的間隔；
背撐裝置，以能夠相對所述導軌升降的方式進行配置；及
控制裝置，在通過使所述背撐裝置上升而完成對所述基板的緊固之后，使所述電動馬達的勵磁關閉。
2.根據權利要求1所述的基板搬運裝置，其特征在于，
所述一對支撐部件中的一個支撐部件為固定支撐部件，另一個支撐部件為可動支撐部件，
所述寬度變更機構具備由所述電動馬達驅動旋轉的進給絲杠和固定于所述可動支撐部件的進給螺母。
3.根據權利要求1或2所述的基板搬運裝置，其特征在于，
所述基板搬運裝置具備檢測所述背撐裝置的升降的傳感器，
所述控制裝置根據來自所述傳感器的信號使所述電動馬達的勵磁關閉。
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