[實(shí)用新型]用于玻璃基板高溫退火時(shí)的石英板

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201220313819.X
• 申請(qǐng)日: 2012-06-29
• 公開（公告）號(hào): CN202736893U
• 公開（公告）日: 2013-02-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張潔;邱勇;黃秀頎;林立;魏博
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 昆山工研院新型平板顯示技術(shù)中心有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;H01L21/68
• 代理公司: 北京三聚陽光知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11250
• 代理人: 彭秀麗

1.用于玻璃基板高溫退火時(shí)的石英板，包括

承載平面（1），用于在高溫退火時(shí)承載玻璃基板（3）；其特征在于，還包括：

限位裝置，設(shè)置在所述承載平面（1）上，其靠近所述玻璃基板（3）的側(cè)面與所述玻璃基板（3）的外周面相配合防止所述玻璃基板（3）在高溫退火時(shí)水平漂移出所述承載平面（1）。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于玻璃基板高溫退火時(shí)的石英板，其特征在于：所述限位裝置為至少3個(gè)位于所述承載平面（1）上限制所述玻璃基板（3）的直角卡槽（21）。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于玻璃基板高溫退火時(shí)的石英板，其特征在于：所述直角卡槽（21）為四個(gè)，分別設(shè)置于所述承載平面（1）的四角上。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于玻璃基板高溫退火時(shí)的石英板，其特征在于：所述限位裝置為至少3個(gè)位于所述承載平面（1）上限制所述玻璃基板（3）的弧形卡槽（22）。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于玻璃基板高溫退火時(shí)的石英板，其特征在于：所述弧形卡槽（22）為四個(gè)，分別設(shè)置于所述承載平面（1）的四角上。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于玻璃基板高溫退火時(shí)的石英板，其特征在于：所述限位裝置為至少3個(gè)位于所述承載平面（1）上限制所述玻璃基板（3）的條形卡槽（23）。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于玻璃基板高溫退火時(shí)的石英板，其特征在于：所述條形卡槽（23）為四個(gè)，分別設(shè)置于所述承載平面（1）的四條邊上。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于玻璃基板高溫退火時(shí)的石英板，其特征在于：相鄰所述條形卡槽（23）不連接。?

9.根據(jù)權(quán)利要求1-8中任一項(xiàng)所述的用于玻璃基板高溫退火時(shí)的石英板，其特征在于：所述限位裝置與所述承載平面（1）分體成型。

10.根據(jù)權(quán)利要求1-8中任一項(xiàng)所述的用于玻璃基板高溫退火時(shí)的石英板，其特征在于：所述限位裝置與所述承載平面（1）一體成型。?