[實用新型]基于硅玻鍵合的下鎖緊壓力傳感器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201220306558.9
• 申請日: 2012-06-27
• 公開（公告）號: CN202676331U
• 公開（公告）日: 2013-01-16
• 發(fā)明（設計）人: 段紅軍;李瑞清;熊盼;郭亦兵;梁厚勛
• 申請（專利權(quán)）人: 上海文襄汽車傳感器有限公司
• 主分類號: G01L1/18
• 分類號: G01L1/18;G01L9/06;G01L19/14
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 陳亮

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及壓力傳感器技術(shù)領(lǐng)域，具體來說，本實用新型涉及一種基于硅玻鍵合的下鎖緊壓力傳感器。

背景技術(shù)

圖1為現(xiàn)有技術(shù)中的一種壓力傳感器的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。如圖1所示，該壓力傳感器可以包括硅壓阻敏感元件1、玻璃環(huán)2、傳感器芯座殼體3、轉(zhuǎn)接板4、傳感器底座下殼體5、傳感器底座上殼體6、電器接口7、信號線8、金絲15和信號調(diào)理電路101等元件。其中，傳感器底座下殼體5和傳感器底座上殼體6可以通過焊接面92焊接，一起構(gòu)成該壓力傳感器的傳感器底座殼體。

上述現(xiàn)有的壓力傳感器一般在玻璃環(huán)2和傳感器芯座殼體3之間通過密封膠的方式密封，此密封方式有以下幾點缺陷：

1.由于此傳感器芯片本身為硅壓阻式，介質(zhì)兼容性好，所以應用比較廣泛，而采用膠密封的方式卻限制了此產(chǎn)品的應用；

2.由于采用膠的密封方式，并且要求涂膠要非常均勻而且要非常少，導致產(chǎn)品加工過程的一致性不易保證，不適合批量生產(chǎn)；

3.如果采用膠的密封方式，由于玻璃環(huán)2、傳感器芯座殼體3和密封膠的熱脹冷縮系數(shù)不同，導致產(chǎn)品的高低溫等性能不能很好的滿足；

4.由于玻璃環(huán)2必須采用Pyrex7740或GG-17材料，所以傳感器芯座殼體3的材料和密封膠的材料必須選用與玻璃環(huán)2的材料相同或相接近的熱脹冷縮系數(shù)，從而限制了此類產(chǎn)品的應用。

發(fā)明內(nèi)容

本實用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種基于硅玻鍵合的下鎖緊壓力傳感器，能夠改善玻璃環(huán)和殼體的材料介質(zhì)之間的兼容性問題，擴大了殼體材料的選用范圍，易加工性和溫度特性也能保證。

為解決上述技術(shù)問題，本實用新型提供一種基于硅玻鍵合的下鎖緊壓力傳感器，包括電器接口、信號調(diào)理電路、傳感器底座殼體、轉(zhuǎn)接板、玻璃環(huán)、傳感器芯座殼體、第一密封件、硅壓阻敏感元件、鎖緊環(huán)、綁線以及信號線；其中

所述硅壓阻敏感元件和所述玻璃環(huán)通過硅玻鍵合工藝形成硅壓阻敏感芯體；

所述硅壓阻敏感芯體、所述第一密封件和所述鎖緊環(huán)安裝于所述傳感器芯座殼體內(nèi)，所述玻璃環(huán)與所述傳感器芯座殼體之間通過所述第一密封件密封；

所述傳感器芯座殼體、所述信號調(diào)理電路和所述電器接口安裝于所述傳感器底座殼體內(nèi)；

所述綁線的一端與所述硅壓阻敏感元件綁定連接，另一端與所述轉(zhuǎn)接板相連接；以及

所述信號調(diào)理電路的一端通過所述信號線與所述轉(zhuǎn)接板相連接，另一端通過所述電器接口連接到汽車的控制部分。

可選地，所述下鎖緊壓力傳感器還包括隔片，安裝于所述傳感器芯座殼體內(nèi)，位于所述第一密封件與所述鎖緊環(huán)之間。

可選地，所述隔片為聚四氟乙烯材料或者金屬材料。

可選地，所述傳感器芯座殼體和所述鎖緊環(huán)采用焊接的方式連接。

可選地，所述下鎖緊壓力傳感器還包括第二密封件，位于所述傳感器底座殼體與所述傳感器芯座殼體之間。

可選地，所述第一密封件和/或所述第二密封件為O形、方形或者橢圓形密封膠圈。

可選地，所述硅壓阻敏感元件上設有惠斯頓電橋，所述惠斯頓電橋包括應變電阻，所述應變電阻與所述綁線的一端綁定連接。

可選地，所述綁線為金絲、鋁絲或銅絲。

可選地，所述轉(zhuǎn)接板和信號線采用柔性電路板或者柔性扁平電纜的形式。

為解決上述技術(shù)問題，本實用新型還提供一種基于硅玻鍵合的下鎖緊壓力傳感器，所述信號線替換為排針。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型具有以下優(yōu)點：

本實用新型通過采用例如密封膠圈為密封件，摒棄了現(xiàn)有技術(shù)中使用密封膠在玻璃環(huán)與傳感器芯座殼體之間作密封的方式，介質(zhì)兼容性更好，擴大了壓力傳感器的應用范圍。

其次，由于不再使用密封膠作為密封方式，本實用新型的壓力傳感器加工一致性好，適合批量生產(chǎn)。

再者，因為不再使用密封膠作為密封方式，即便玻璃環(huán)與傳感器芯座殼體的熱脹冷縮系數(shù)不同，對產(chǎn)品的高低溫等性能不會有很大影響。

最后，由于密封件本身具有一定的彈性，所以傳感器芯座殼體材料與玻璃環(huán)材料的熱脹冷縮系數(shù)不必相同或者非常接近，擴大了殼體材料的選用范圍，并拓寬了此類產(chǎn)品的應用領(lǐng)域。

附圖說明

本實用新型的上述的以及其他的特征、性質(zhì)和優(yōu)勢將通過下面結(jié)合附圖和實施例的描述而變得更加明顯，其中：

圖1為現(xiàn)有技術(shù)中的一種壓力傳感器的剖面結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實用新型一個實施例的基于硅玻鍵合的下鎖緊壓力傳感器的剖面結(jié)構(gòu)示意圖；