[實用新型]基于硅玻鍵合的下鎖緊壓力傳感器

有效

• 申請號: 201220306558.9
• 申請日: 2012-06-27
• 公開（公告）號: CN202676331U
• 公開（公告）日: 2013-01-16
• 發明（設計）人: 段紅軍;李瑞清;熊盼;郭亦兵;梁厚勛
• 申請（專利權）人: 上海文襄汽車傳感器有限公司
• 主分類號: G01L1/18
• 分類號: G01L1/18;G01L9/06;G01L19/14
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 陳亮

1.一種基于硅玻鍵合的下鎖緊壓力傳感器，其特征在于，包括電器接口(1)、信號調理電路(2)、傳感器底座殼體(3)、轉接板(4)、玻璃環(5)、傳感器芯座殼體(6)、第一密封件(7)、硅壓阻敏感元件(9)、鎖緊環(10)、綁線(20)以及信號線(21)；其中

所述硅壓阻敏感元件(9)和所述玻璃環(5)通過硅玻鍵合工藝形成硅壓阻敏感芯體；

所述硅壓阻敏感芯體、所述第一密封件(7)和所述鎖緊環(10)安裝于所述傳感器芯座殼體(6)內，所述玻璃環(5)與所述傳感器芯座殼體(6)之間通過所述第一密封件(7)密封；

所述傳感器芯座殼體(6)、所述信號調理電路(2)和所述電器接口(1)安裝于所述傳感器底座殼體(3)內；

所述綁線(20)的一端與所述硅壓阻敏感元件(9)綁定連接，另一端與所述轉接板(4)相連接；以及

所述信號調理電路(2)的一端通過所述信號線(21)與所述轉接板(4)相連接，另一端通過所述電器接口(1)連接到汽車的控制部分。

2.根據權利要求1所述的下鎖緊壓力傳感器，其特征在于，還包括隔片(8)，安裝于所述傳感器芯座殼體(6)內，位于所述第一密封件(7)與所述鎖緊環(10)之間。

3.根據權利要求2所述的下鎖緊壓力傳感器，其特征在于，所述隔片(8)為聚四氟乙烯材料或者金屬材料。

4.根據權利要求1所述的下鎖緊壓力傳感器，其特征在于，所述傳感器芯座殼體(6)和所述鎖緊環(10)采用焊接的方式連接。

5.根據權利要求1所述的下鎖緊壓力傳感器，其特征在于，還包括第二密封件(11)，位于所述傳感器底座殼體(3)與所述傳感器芯座殼體(6)之間。

6.根據權利要求1或5所述的下鎖緊壓力傳感器，其特征在于，所述第一密封件(7)和/或所述第二密封件(11)為O形、方形或者橢圓形密封膠圈。

7.根據權利要求1所述的下鎖緊壓力傳感器，其特征在于，所述硅壓阻敏感元件(9)上設有惠斯頓電橋，所述惠斯頓電橋包括應變電阻，所述應變電阻與所述綁線(20)的一端綁定連接。

8.根據權利要求1或7所述的下鎖緊壓力傳感器，其特征在于，所述綁線(20)為金絲、鋁絲或銅絲。

9.根據權利要求1所述的下鎖緊壓力傳感器，其特征在于，所述轉接板(4)和信號線(21)采用柔性電路板或者柔性扁平電纜的形式。

10.根據權利要求1至9中任一項所述的下鎖緊壓力傳感器，其特征在于，所述信號線(21)替換為排針。