[實用新型]鉬反應腔

有效

• 申請號: 201220285566.X
• 申請日: 2012-06-14
• 公開（公告）號: CN202671649U
• 公開（公告）日: 2013-01-16
• 發明（設計）人: 高建鋒
• 申請（專利權）人: 湖州維德光電科技有限公司
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44
• 代理公司: 北京眾合誠成知識產權代理有限公司 11246
• 代理人: 連圍

技術領域：

本實用新型涉及有機金屬化學氣象沉積設備領域，更具體的說涉及一種鉬反應腔，使用于MOCVD工藝。

背景技術：

隨著化合物半導體器件(如?GaAs?MMIC、InP?MMIC以及GaN藍光LED)市場的不斷擴大，MOCVD系統的需求量不斷增長。目前國際上實力最為雄厚的MOCVD系統制造商有:德國、美國、英國等。因為MOCVD系統最關鍵的問題就是保證材料生長的均勻性和重復性，因此不同廠家的MOCVD系統最主要的區別在于反應室結構。?

　　目前國內使用于MOCVD設備主要是LED光電行業，而且MOCVD設備相對國內的LED廠商來講都是全進口設備，對于該設備的部件，基本上都是采用德國原廠的部件，以保證設備的正常使用，其進口的鉬反應腔是由2個扇形組成的結構。因此MOCVD設備及其備品備件基本上都是國外設備公司壟斷。根據國內LED廠商實際使用狀況，我們國內LED芯片廠商為了降低生產成本，就需要部分設備備品備件都國產化。因此我們有必要進行自行設計和開發鉬反應腔。

實用新型內容：

本實用新型的目的是針對現有技術的不足之處，提供一種鉬反應腔，其連接牢固，使用壽命長。

本實用新型的技術解決措施如下：

鉬反應腔，所述鉬反應腔是由四個鉬體外側板、四個鉬體內側板和四個鉬體底板拼接而成的環形腔室結構，且四個鉬體外側板的高度大于四個鉬體內側板的高度；所述四個鉬體外側板、四個鉬體內側板與底板之間分別采用鏈接的方式連接在一起；所述四個鉬體外側板之間、四個鉬體內側板之間分別采用搭接的方式連接在一起；所述四個鉬體外側板和四個鉬體內側板之間采用螺桿螺母結構鎖緊在一起；所述四個鉬體外側板和四個鉬體內側板的上邊緣分別設有包邊。

作為優選，所述螺桿螺母結構共16個，在側板搭接處兩側對稱各有一組螺桿螺母結構，其中一組螺桿螺母結構上還鎖有一折鉤，且螺桿螺母結構的中心線與側板搭接處的中心線之間形成的角度為3.9°。

作為優選，所述螺桿螺母結構的螺桿頭部與螺母平齊。

作為優選，所述四個鉬體外側板上均布設有多個通孔。

本實用新型的有益效果在于：

本實用新型的鉬反應腔由四個鉬體外側板、四個鉬體內側板和四個鉬體底板拼接而成的環形腔室結構，連接處用鉬的螺桿螺母連接，更具有熱脹冷縮的伸縮性，使鉬反應腔能夠整體得到平衡，不至于鉬反應腔在短時間內因為高溫的變形而破壞鉬腔體。同時本實用新型鉬反應腔的環形結構更接近真圓度，使用壽命長。

附圖說明：

下面結合附圖對本實用新型做進一步的說明：

圖1為本實用新型的主視圖；

圖2為本實用新型的附視圖；

圖3為圖2中的A-A剖視圖；

圖4為圖1中的Ⅰ處的放大示意圖；

圖5為圖1中的Ⅱ處的放大示意圖；

圖6為圖3中的Ⅲ處的放大示意圖；

圖7為圖3中的Ⅳ處的放大示意圖。

具體實施方式：

以下所述僅為本實用新型的較佳實施例，并非對本實用新型的范圍進行限定。

實施例，見附圖1~3，鉬反應腔，所述鉬反應腔是由四個鉬體外側板1、四個鉬體內側板2和四個鉬體底板3拼接而成的環形腔室結構，且四個鉬體外側板的高度大于四個鉬體內側板的高度。

附圖4是四個鉬體外側板之間、四個鉬體內側板之間分別采用搭接的方式連接在一起，且采用訂書釘的搭接方式連接。

附圖5是四個鉬體外側板與底板之間采用鏈接的方式連接在一起；附圖6是四個鉬體內側板與底板之間采用鏈接的方式連接在一起。

附圖7是四個鉬體外側板和四個鉬體內側板的上邊緣分別設有包邊5、6的結構示意圖。

所述四個鉬體外側板和四個鉬體內側板之間采用螺桿螺母結構4鎖緊在一起，螺桿螺母結構都采用鉬的材質，由于鉬反應腔是在1200℃高溫的真空環境下工作，采用鉬的材質具有熱脹冷縮的伸縮性，使鉬反應腔能夠整體得到平衡，不至于鉬反應腔在短時間內因為高溫的變形而破壞鉬腔體。