[實用新型]鉬反應(yīng)腔有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201220285566.X | 申請日: | 2012-06-14 |
| 公開(公告)號: | CN202671649U | 公開(公告)日: | 2013-01-16 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 高建鋒 | 申請(專利權(quán))人: | 湖州維德光電科技有限公司 |
| 主分類號: | C23C16/44 | 分類號: | C23C16/44 |
| 代理公司: | 北京眾合誠成知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11246 | 代理人: | 連圍 |
| 地址: | 313000 浙江省湖州市*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 反應(yīng) | ||
1.鉬反應(yīng)腔,其特征在于:所述鉬反應(yīng)腔是由四個鉬體外側(cè)板、四個鉬體內(nèi)側(cè)板和四個鉬體底板拼接而成的環(huán)形腔室結(jié)構(gòu),且四個鉬體外側(cè)板的高度大于四個鉬體內(nèi)側(cè)板的高度;所述四個鉬體外側(cè)板、四個鉬體內(nèi)側(cè)板與底板之間分別采用鏈接的方式連接在一起;所述四個鉬體外側(cè)板之間、四個鉬體內(nèi)側(cè)板之間分別采用搭接的方式連接在一起;所述四個鉬體外側(cè)板和四個鉬體內(nèi)側(cè)板之間采用螺桿螺母結(jié)構(gòu)鎖緊在一起;所述四個鉬體外側(cè)板和四個鉬體內(nèi)側(cè)板的上邊緣分別設(shè)有包邊。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鉬反應(yīng)腔,其特征在于:所述螺桿螺母結(jié)構(gòu)共16個,在側(cè)板搭接處兩側(cè)對稱各有一組螺桿螺母結(jié)構(gòu),其中一組螺桿螺母結(jié)構(gòu)上還鎖有一折鉤,且螺桿螺母結(jié)構(gòu)的中心線與側(cè)板搭接處的中心線之間形成的角度為3.9°。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的鉬反應(yīng)腔,其特征在于:所述螺桿螺母結(jié)構(gòu)的螺桿頭部與螺母平齊。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鉬反應(yīng)腔,其特征在于:所述四個鉬體外側(cè)板上均布設(shè)有多個通孔。
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C23C 對金屬材料的鍍覆;用金屬材料對材料的鍍覆;表面擴散法,化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態(tài)化合物分解且表面材料的反應(yīng)產(chǎn)物不留存于鍍層中的化學(xué)鍍覆,例如化學(xué)氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上,例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的





