[實用新型]大尺寸CZ直拉單晶爐真空泵的避震裝置

有效

• 申請號: 201220282168.2
• 申請日: 2012-06-14
• 公開（公告）號: CN202789756U
• 公開（公告）日: 2013-03-13
• 發明（設計）人: 馬四海;張笑天;丁磊;馬先松;馬青;徐大國
• 申請（專利權）人: 馬鞍山明鑫光能科技有限公司
• 主分類號: F04D29/66
• 分類號: F04D29/66
• 代理公司: 安徽合肥華信知識產權代理有限公司 34112
• 代理人: 方崢

技術領域

????本實用新型涉及一種避震裝置，尤其涉及一種大尺寸CZ直拉單晶爐真空泵的避震裝置。

背景技術

????目前，公知的CZ直拉單晶法需要在20TORR以下的低壓環境下進行長晶，拉制過程中必須維持真空泵的高速運轉；真空泵運轉過程，對地面造成沖擊，形成一定頻率的震源，傳到至CZ直拉單晶爐，致使單晶無法生長。因此從真空泵引入至今，對如何隔絕震源的人們都采取了很多措施。目前普遍使用的真空泵的避震，都是真空泵地下墊上橡膠避震的方法，或者適用單層避震的模式；而在CZ直拉法單晶爐日趨發展的今天，單晶爐腔體的尺寸越來越大，由原來的80爐增加至85爐、90爐、95爐、100爐等；相應所需要真空泵的排氣速率也必須增加。為了增加排氣速率，各真空泵廠家紛紛在原有70泵的基礎上改進了100泵及120泵推出市場，以增加真空泵的排氣速率，而相應的真空泵的震動也相應增加，原來的避震措施已經無法達到隔絕震動傳輸的效果。

實用新型內容

本實用新型目的就是為了彌補已有技術的缺陷，提供一種避震效果好的大尺寸CZ直拉單晶爐真空泵的避震裝置。

本實用新型是通過以下技術方案實現的：

一種大尺寸CZ直拉單晶爐真空泵的避震裝置，包括槽鋼支架和避震模塊，所述的避震模塊分為上避震模塊和下避震模塊，所述的上避震模塊包括有四根圓形的聚乙烯樹脂棒，用螺桿固定在所述的槽鋼支架與真空泵之間，所述的下避震模塊包括有四個避震橡膠墊，直接置于所述的槽鋼支架與地基之間，所述的避震模塊還包括中間避震模塊，所述的中間避震模塊包括有四個避震彈簧和八個固定彈簧，所述的固定彈簧每兩個為一組，分為上、下固定彈簧，上、下固定彈簧的一端分別固定在所述的槽鋼支架內的上、下支架的兩端，每兩個上、下固定彈簧之間固定一避震彈簧。

所述的上、下固定彈簧的一端分別固定在所述的槽鋼支架內的上、下支架上的固定方式為焊接。

所述的固定彈簧為鋼制的。

本實用新型的工作原理是：

本實用新型采用三層避震的方式：采用比橡膠彈性系數更好的聚乙烯樹脂棒做為一級避震材料，第二級避震采用避震彈簧做主要材料，第三級避震采用30mm厚度的橡膠墊做避震材料。由于三種材料的彈性系數都不一樣，緩沖震動的幅度也不一樣而不會形成共振頻率，以達到震動幅度層層緩沖，層層降低的效果，并且最大限度的降低共振形成幾率。經過三級緩沖后，真空泵運轉形成的震動已經大幅度降低，符合的晶體生長要求。

????本實用新型的優點是：本實用新型采用三層避震方式，不僅使用了聚乙烯樹脂棒和避震橡膠墊做主要的避震材料，還添加了避震彈簧作為中間避震模塊的主材料，使緩沖震動的幅度不一樣不會形成共振頻率，達到層層緩沖，震動層層降低，最后達到很好的避震效果，最大化的避免震動對晶體生產的影響。

附圖說明

????圖1為本實用新型正面示意圖。

具體實施方式

如圖1所示，一種大尺寸CZ直拉單晶爐真空泵的避震裝置，包括槽鋼支架1和避震模塊，所述的避震模塊分為上避震模塊和下避震模塊，所述的上避震模塊包括有四根圓形的聚乙烯樹脂棒2，用螺桿固定在所述的槽鋼支架1與真空泵之間，所述的下避震模塊包括有四個避震橡膠墊3，直接置于所述的槽鋼支架1與地基之間，所述的避震模塊還包括中間避震模塊，所述的中間避震模塊包括有四個避震彈簧4和八個固定彈簧5，所述的固定彈簧5每兩個為一組，分為上、下固定彈簧，上、下固定彈簧的一端分別固定在所述的槽鋼支架1內的上、下支架的兩端，每兩個上、下固定彈簧之間固定一避震彈簧4。

所述的上、下固定彈簧的一端分別固定在所述的槽鋼支架1內的上、下支架上的固定方式為焊接。

所述的固定彈簧5為鋼制的。