[實用新型]大尺寸CZ直拉單晶爐真空泵的避震裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201220282168.2 | 申請日： | 2012-06-14 |
| 公開（公告）號： | CN202789756U | 公開（公告）日： | 2013-03-13 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 馬四海;張笑天;丁磊;馬先松;馬青;徐大國 | 申請（專利權(quán)）人： | 馬鞍山明鑫光能科技有限公司 |
| 主分類號： | F04D29/66 | 分類號： | F04D29/66 |
| 代理公司： | 安徽合肥華信知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 34112 | 代理人： | 方崢 |
| 地址： | 243100 安徽*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 尺寸 cz 直拉單晶爐 真空泵 裝置 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種大尺寸CZ直拉單晶爐真空泵的避震裝置，包括槽鋼支架和避震模塊，所述的避震模塊分為上避震模塊和下避震模塊，所述的上避震模塊包括有四根圓形的聚乙烯樹脂棒，用螺桿固定在所述的槽鋼支架與真空泵之間，所述的下避震模塊包括有四個避震橡膠墊，直接置于所述的槽鋼支架與地基之間，其特征在于：所述的避震模塊還包括中間避震模塊，所述的中間避震模塊包括有四個避震彈簧和八個固定彈簧，所述的固定彈簧每兩個為一組，分為上、下固定彈簧，上、下固定彈簧的一端分別固定在所述的槽鋼支架內(nèi)的上、下支架的兩端，每兩個上、下固定彈簧之間固定一避震彈簧。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大尺寸CZ直拉單晶爐真空泵的避震裝置，其特征在于：所述的上、下固定彈簧的一端分別固定在所述的槽鋼支架內(nèi)的上、下支架上的固定方式為焊接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大尺寸CZ直拉單晶爐真空泵的避震裝置，其特征在于：所述的固定彈簧為鋼制的。
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