[實用新型]一種用于直拉硅單晶爐的塊狀多晶硅加料裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201220272138.3
• 申請日: 2012-06-11
• 公開（公告）號: CN202671709U
• 公開（公告）日: 2013-01-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 曾澤斌
• 申請（專利權(quán)）人: 曾澤斌
• 主分類號: C30B15/02
• 分類號: C30B15/02;C30B29/06
• 代理公司: 杭州求是專利事務(wù)所有限公司 33200
• 代理人: 張法高

1.一種用于直拉硅單晶爐的塊狀多晶硅加料裝置,其特征在于：從上到下順次設(shè)有倉蓋（18）、倉體（19）、翻板閥體（30），倉蓋（18）上方從左到右順次設(shè)有擋料球升降組件、導(dǎo)料管升降組件、加料口（17），擋料球升降組件從上到下順次設(shè)有電機（9）、減速機（10）、固定架（11）、導(dǎo)向滑桿（13）、絲桿（12）、波紋管提升件（14）、波紋管（15）、提升桿（16），電機（9）、減速機（10）、導(dǎo)向滑桿（13）、絲桿（12）安裝在固定架（11）上，波紋管提升件（14）通過內(nèi)螺紋連接在絲桿（12）上并可沿導(dǎo)向滑桿（13）上下滑動，波紋管（15）、提升桿（16）安裝在波紋管提升件（14）的下方，導(dǎo)料管升降組件從上到下順次設(shè)有電機（1）、減速機（2）、固定架（6）、導(dǎo)向滑桿（5）、絲桿（4）、波紋管提升件（3）、波紋管（7）、提升桿（8），電機（1）、減速機（2）、導(dǎo)向滑桿（5）、絲桿（4）安裝在固定架（6）上，波紋管提升件（3）通過內(nèi)螺紋連接在絲桿（4）上并可沿導(dǎo)向滑桿（5）上下滑動，波紋管（7）、提升桿（8）安裝在波紋管提升件（3）的下方，倉體（19）上部內(nèi)從外到內(nèi)順次設(shè)有石英玻璃內(nèi)套（20）、擋料球（23）、擋料球升降桿（22）、導(dǎo)料管升降桿（21），倉體（19）下部內(nèi)設(shè)有導(dǎo)料管（25），導(dǎo)料管（25）通過導(dǎo)料管掛鉤（29）懸掛在導(dǎo)料管升降桿（21）的下端，導(dǎo)料管掛鉤（29）由內(nèi)環(huán)（48）、拉桿（49）、固定螺釘（50）、環(huán)形托（51）構(gòu)成，環(huán)形托（51）的底部形狀為圓環(huán)形并與導(dǎo)料管（25）的底部緊密相連，導(dǎo)料管升降桿（21）穿過內(nèi)環(huán)（48）安裝，倉體（19）下部外側(cè)壁上設(shè)有真空抽氣口（28）、真空閥（27）、觀測窗（26）、進氣口（24），翻板閥體（30）包括密封圈（33）、隔離板（31）、磁流體密封件（52）、搖桿（32），翻板閥體（30）底部設(shè)有密封圈（33），翻板閥體（30）的下端設(shè)有下法蘭（34），翻板閥體（30）外側(cè)壁設(shè)有磁流體密封件（52）、搖桿（32），搖桿（32）通過磁流體密封件（52）與隔離板（31）相連。

2.如權(quán)利要求1所述的一種用于直拉硅單晶爐的塊狀多晶硅加料裝置,其特征在于：所述的石英玻璃內(nèi)套（20）上段為圓柱體，圓柱體內(nèi)徑D₁為400-800mm，石英玻璃內(nèi)套（20）中段為圓錐體，圓錐體的半角α₁為15-45o，倉體（19）上段圓柱體部分和中段圓錐體部分的總高度H與D₁的比為1.2-2:1，擋料球23的直徑D₂為110-200mm，擋料球（23沿直徑方向開有通孔，通孔直徑D₃為15-25mm，石英玻璃內(nèi)套（20）下段圓柱體的高度H₁與導(dǎo)料管（25）的高度h₃之比約為1:1，石英玻璃內(nèi)套（20）下段圓柱體的高度H₁與翻板閥體（30）的高度H_2?之比為1-1.5:1，石英玻璃內(nèi)套（20）下段圓柱體內(nèi)徑D₄為100-160mm，隔離板（31）的直徑D₅為140-200mm，密封圈（33）的內(nèi)徑為130-190mm，石英玻璃內(nèi)套（20）的壁厚為5-10mm。