[實用新型]一種用于直拉硅單晶爐的塊狀多晶硅加料裝置有效
| 申請號： | 201220272138.3 | 申請日： | 2012-06-11 |
| 公開（公告）號： | CN202671709U | 公開（公告）日： | 2013-01-16 |
| 發明（設計）人： | 曾澤斌 | 申請（專利權）人： | 曾澤斌 |
| 主分類號： | C30B15/02 | 分類號： | C30B15/02;C30B29/06 |
| 代理公司： | 杭州求是專利事務所有限公司 33200 | 代理人： | 張法高 |
| 地址： | 310013 浙江省杭*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 直拉硅單晶爐 塊狀 多晶 加料 裝置 | ||
1.一種用于直拉硅單晶爐的塊狀多晶硅加料裝置,其特征在于：從上到下順次設有倉蓋（18）、倉體（19）、翻板閥體（30），倉蓋（18）上方從左到右順次設有擋料球升降組件、導料管升降組件、加料口（17），擋料球升降組件從上到下順次設有電機（9）、減速機（10）、固定架（11）、導向滑桿（13）、絲桿（12）、波紋管提升件（14）、波紋管（15）、提升桿（16），電機（9）、減速機（10）、導向滑桿（13）、絲桿（12）安裝在固定架（11）上，波紋管提升件（14）通過內螺紋連接在絲桿（12）上并可沿導向滑桿（13）上下滑動，波紋管（15）、提升桿（16）安裝在波紋管提升件（14）的下方，導料管升降組件從上到下順次設有電機（1）、減速機（2）、固定架（6）、導向滑桿（5）、絲桿（4）、波紋管提升件（3）、波紋管（7）、提升桿（8），電機（1）、減速機（2）、導向滑桿（5）、絲桿（4）安裝在固定架（6）上，波紋管提升件（3）通過內螺紋連接在絲桿（4）上并可沿導向滑桿（5）上下滑動，波紋管（7）、提升桿（8）安裝在波紋管提升件（3）的下方，倉體（19）上部內從外到內順次設有石英玻璃內套（20）、擋料球（23）、擋料球升降桿（22）、導料管升降桿（21），倉體（19）下部內設有導料管（25），導料管（25）通過導料管掛鉤（29）懸掛在導料管升降桿（21）的下端，導料管掛鉤（29）由內環（48）、拉桿（49）、固定螺釘（50）、環形托（51）構成，環形托（51）的底部形狀為圓環形并與導料管（25）的底部緊密相連，導料管升降桿（21）穿過內環（48）安裝，倉體（19）下部外側壁上設有真空抽氣口（28）、真空閥（27）、觀測窗（26）、進氣口（24），翻板閥體（30）包括密封圈（33）、隔離板（31）、磁流體密封件（52）、搖桿（32），翻板閥體（30）底部設有密封圈（33），翻板閥體（30）的下端設有下法蘭（34），翻板閥體（30）外側壁設有磁流體密封件（52）、搖桿（32），搖桿（32）通過磁流體密封件（52）與隔離板（31）相連。
2.如權利要求1所述的一種用于直拉硅單晶爐的塊狀多晶硅加料裝置,其特征在于：所述的石英玻璃內套（20）上段為圓柱體，圓柱體內徑D1為400-800mm，石英玻璃內套（20）中段為圓錐體，圓錐體的半角α1為15-45o，倉體（19）上段圓柱體部分和中段圓錐體部分的總高度H與D1的比為1.2-2:1，擋料球23的直徑D2為110-200mm，擋料球（23沿直徑方向開有通孔，通孔直徑D3為15-25mm，石英玻璃內套（20）下段圓柱體的高度H1與導料管（25）的高度h3之比約為1:1，石英玻璃內套（20）下段圓柱體的高度H1與翻板閥體（30）的高度H2?之比為1-1.5:1，石英玻璃內套（20）下段圓柱體內徑D4為100-160mm，隔離板（31）的直徑D5為140-200mm，密封圈（33）的內徑為130-190mm，石英玻璃內套（20）的壁厚為5-10mm。
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