[實用新型]用于半導(dǎo)體封裝制造的烤箱有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201220269073.7 | 申請日: | 2012-06-08 |
| 公開(公告)號: | CN202662576U | 公開(公告)日: | 2013-01-09 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 廖明俊;趙亮;陳建華;蔣秦蘇 | 申請(專利權(quán))人: | 矽品科技(蘇州)有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67;F26B25/00 |
| 代理公司: | 南京蘇科專利代理有限責(zé)任公司 32102 | 代理人: | 陸明耀;姚姣陽 |
| 地址: | 215123 江蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 用于 半導(dǎo)體 封裝 制造 烤箱 | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本實用新型涉及一種烤箱,尤其是適用于半導(dǎo)體封裝制造的烤箱。
背景技術(shù)
傳統(tǒng)用于烘烤半導(dǎo)體封裝制造過程中電子元件的烤箱所采用的溫控器只是用來控制在烘烤過程中保持恒定溫度進(jìn)行烘烤。如果出現(xiàn)溫度失控現(xiàn)象,烤箱內(nèi)的溫度超過半導(dǎo)體封裝電子產(chǎn)品的耐高溫性能參數(shù),就有導(dǎo)致這些電子產(chǎn)品報廢的風(fēng)險發(fā)生,如果出現(xiàn)溫度失常現(xiàn)象時得不到及時的散熱降溫,將會大大增加這些電子產(chǎn)品報廢的風(fēng)險。
實用新型內(nèi)容
本實用新型的目的是提供解決上述問題的一種用于半導(dǎo)體封裝制造的烤箱。
本實用新型的目的通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn):
一種用于半導(dǎo)體封裝制造的烤箱,包括箱體和控制烤箱工作過程的控制裝置,所述控制裝置包括一溫控器以及一端連接所述溫控器并用于設(shè)定溫度的記錄器AL1,所述記錄器AL1另一端連接繼電器RY6,所述繼電器RY6的控制端則連接有一通電控制開關(guān),所述溫控器的另一端還連接有用于設(shè)定溫度的記錄器AL2,所述記錄器AL2的一端連接繼電器RY7,所述繼電器RY7的控制端連接一報警器裝置,所述控制烤箱工作過程的控制裝置還包括一風(fēng)扇開關(guān)控制裝置,所述風(fēng)扇開關(guān)控制裝置一端連接送風(fēng)計時器,所述送風(fēng)計時器與繼電器RY8的一端連接,所述繼電器RY8的另一端連接至繼電器RY6。當(dāng)出現(xiàn)溫度異常現(xiàn)象,報警器裝置報警后,提醒打開風(fēng)扇開關(guān)控制裝置,使風(fēng)扇像烤箱內(nèi)送風(fēng)散熱,減少產(chǎn)品報廢的風(fēng)險。
優(yōu)選地,所述記錄器AL1的一端還連接有繼電器RY3,所述繼電器RY3的另一端接連一恒溫計時器。恒溫計時器設(shè)置需要恒溫烘烤電子產(chǎn)品的時長。
優(yōu)選地,所述通電開關(guān)裝置的另一端連接至烤箱加熱器。
優(yōu)選地,所述風(fēng)扇開關(guān)控制裝置另一端連接至風(fēng)扇。
本實用新型的有益效果主要體現(xiàn)在:通過加設(shè)了報警器裝置和風(fēng)扇,雙重保護(hù)避免了被烘干電子元件產(chǎn)品因溫度異常而導(dǎo)致其報廢。
附圖說明
下面結(jié)合附圖對本實用新型技術(shù)方案作進(jìn)一步說明:
圖1是本實用新型的用于半導(dǎo)體封裝制造的烤箱的電路圖。
圖2是本實用新型的用于半導(dǎo)體封裝制造的烤箱的原理框圖。
具體實施方式
請參閱圖1和圖2,本實用新型一種用于半導(dǎo)體封裝制造的烤箱,包括箱體和控制烤箱工作過程的控制裝置,控制裝置包括一溫控器以及記錄器AL1,溫控器一端連接記錄器AL1,AL1另一端連接繼電器RY6,繼電器RY6的另一端則連接有一通電控制開關(guān);溫控器的另一端還連接有記錄器AL2,記錄器AL2的一端連接繼電器RY7,繼電器RY7的另一端連接一報警器裝置;該實用新型包括一風(fēng)扇開關(guān)控制裝置,風(fēng)扇開關(guān)控制裝置一端連接送風(fēng)計時器,送風(fēng)計時器與繼電器RY8的一端連接,繼電器RY8的另一端連接至繼電器RY6。具體地,記錄器AL1的一端還連接有繼電器RY3,繼電器RY3的另一端接連一恒溫計時器。?
本實施例工作時,首先通過記錄器AL1設(shè)定所需恒溫烘烤的溫度為170度,通過記錄器AL2設(shè)定報警溫度為181度,然后關(guān)閉烤箱磁門,開啟烤箱內(nèi)加熱裝置,使烤箱內(nèi)的溫度朝所述記錄器AL1設(shè)定的溫度值升高;當(dāng)烤箱內(nèi)的溫度升至170度時,繼電器RY6控制所述通電控制開關(guān)斷開,烤箱加熱器停止加熱,對烤箱內(nèi)的產(chǎn)品進(jìn)行恒溫烘干,同時所述恒溫計時器開始根據(jù)設(shè)定所需烘烤的時間進(jìn)行倒計時,若烘烤過程中無溫度異常的現(xiàn)象出現(xiàn),恒溫計時器倒計時時間時產(chǎn)品即烘烤完畢。若烘烤過程中有溫度異常現(xiàn)象發(fā)生,當(dāng)溫度升高至181度時,繼電器RY7控制報警器裝置報警,此時使風(fēng)扇開關(guān)裝置打開,控制風(fēng)扇向烤箱內(nèi)送風(fēng)和送風(fēng)計時器開始計時,同時繼電器RY8控制所述繼電器RY6失效。
本實用新型尚有多種具體的實施方式,凡采用等同替換或者等效變換而形成的所有技術(shù)方案,均落在本實用新型要求保護(hù)的范圍之內(nèi)。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





