[實用新型]晶圓研磨液加速混攪結構

有效

• 申請號: 201220268402.6
• 申請日: 2012-06-08
• 公開（公告）號: CN202725056U
• 公開（公告）日: 2013-02-13
• 發明（設計）人: 黃怡文;曾義能
• 申請（專利權）人: 宸沅國際股份有限公司
• 主分類號: B01F5/12
• 分類號: B01F5/12;B01F5/10
• 代理公司: 天津三元專利商標代理有限責任公司 12203
• 代理人: 崔鋼

技術領域

本實用新型是一種晶圓研磨液加速混攪結構，直接在研磨液混攪缸產生高速噴流導漩循環攪拌作用，改進現有動力攪拌機制，因泵葉攪拌流速無法擴及到混攪缸缸邊，避免缸邊低流漩積聚產生研磨反應液結晶卡積的新穎技術。

背景技術

芯片普遍使用在集成電路以及CPU中，從晶圓切割再加工而來，但是晶圓本身的形狀及尺寸，也并非從原礦中一提煉出來，不須加工處理就能鑄聚成預定的形狀及大小，亦須對煉制成產能的每塊標準直徑晶圓，進行一塊塊切割研磨，才能形成個別集成電路以及CPU所需的芯片，而對晶圓的研磨也必須非常精細講究，否則粗糙的磨制也會浪費很多晶圓材料，使芯片成本大增，也因此晶圓的研磨皆仰賴專用的研磨機為之。

如圖1為現有晶圓研磨液混合攪拌結構的示意圖所示，這些研磨機50的前生產階段，也都有其研磨反應液取用比例及混合攪拌的專用設備，將二種研磨反應液，一為水性研磨漿液(二氧化硅，業界英文通稱SLURRY)另一為純水，先由各自由對應的研磨反應液定量筒10額定取量，以最適當的比例，經注入管11，12再送往研磨液混攪缸20混攪拌勻，而兩種研磨反應液相拌混合完成的晶圓研磨液，在理想控制狀況下，應在混合反應未結晶的固凝前時間內，將混好的晶圓研磨液，完全送往研磨機50研磨晶圓。

現有研磨液混攪缸20缸內底中央下凹空間內的動力攪拌機制，以葉片泵21為之，由于葉片泵21泵葉全在缸底中央，雖能向上逐漸外旋攪拌，但攪拌流速仍然無法擴及到研磨液混攪缸20缸邊內壁，使缸邊內壁只受到低流漩攪，若攪拌是一般水混合粉末，則缸邊或許僅溶解度差慢些而已，但因該缸20內攪研磨反應液，是水性研磨漿液加純水的待拌勻晶圓研磨液，水性研磨漿液(二氧化硅，業界英文通稱SLURRY)與純水相溶反應一段時間后，就有結晶硬化的特性，必須及時送出供應研磨之用，同樣也必須在研磨液混攪缸20內，減少拌成晶圓研磨液當中，產生結晶的機會，然而現有葉片泵21泵旋到缸邊的漩速不足，會因攪拌不及或變慢而造成沿著缸內壁不當地慢慢結晶凝固，由而，現有由葉片泵21攪拌的研磨液混合攪拌結構并不理想，在研磨液混攪缸20容易產生積聚結晶顆粒，影響流往研磨機50的研磨料品質。

因而，本人乃積極研究改進之道，經過一番艱辛的苦思及試驗過程，終于有本實用新型產生。

實用新型內容

本實用新型所要解決的主要技術問題在于，克服現有技術存在的上述缺陷，而提供一種晶圓研磨液加速混攪結構，其直接在研磨液混攪缸內產生高速噴流導漩循環攪拌，提升動力攪拌速度擴大攪拌范圍，減少缸邊低流漩積聚產生研磨反應液結晶卡積的缺點。

本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是：

一種晶圓研磨液加速混攪結構，不同于現有研磨晶圓前階段所設研磨液混攪缸內設置由葉片泵攪拌的研磨液混合攪拌結構，其特征在于：于研磨晶圓前階段所設的研磨液混攪缸內，設有抽送泵及加速混攪分歧管，該研磨液混攪缸頂伸入研磨反應液定量筒注入研磨反應液的注入管，且研磨液混攪缸內底中央下凹空間內嵌入抽送泵，此抽送泵設有流入口、抽送回流出口管及最終泵出管，并于抽送泵頂豎接加速混攪分歧管，此加速混攪分歧管由一豎直管臨近頂管口兩旁下斜伸出蓮蓬噴頭的中空管體，而蓮蓬噴頭的噴出正面以一定散射組合斜角均等布設至少二個噴孔，且豎直管底管口套圍抽送泵頂部中央開設的流入口，并將抽送回流出口管接至加速混攪分歧管的頂管口，且最終泵出管接至研磨機。

所述晶圓研磨液加速混攪結構，其中，該散射組合斜角的一散射斜角斜出噴出正面在30°～60°之間，且散射組合斜角的另一散射斜角為噴孔孔道斜出蓮蓬噴頭外緣水平切線30°～60°之間。

所述晶圓研磨液加速混攪結構，其中，該豎直管于臨近底管口的管口緣壁，透設數個回流孔。

所述晶圓研磨液加速混攪結構，其中，該抽送泵為一具有磁浮轉芯的泵體，且此抽送泵頂殼中央開設一流入孔，并圍繞流入孔開設數只向上偏斜散開的擠噴孔道，又于其相對于磁浮轉芯外圍圈設一環回旋送出信道，再圈套一信道環座，并將此環回旋送出通道的送出口連接研磨液出料管，另在通道環座底固接外環布滿散熱片的動力機室。

所述晶圓研磨液加速混攪結構，其中，這些噴孔噴出的研磨反應液供應壓力值等于10psi。

所述晶圓研磨液加速混攪結構，其中，這些噴孔噴出的研磨反應液供應壓力值大于10psi。

本實用新型的有益效果是，其直接在研磨液混攪缸內產生高速噴流導漩循環攪拌，提升動力攪拌速度擴大攪拌范圍，減少缸邊低流漩積聚產生研磨反應液結晶卡積的缺點。

附圖說明