[實用新型]晶圓研磨液加速混攪結構

有效

• 申請號: 201220268402.6
• 申請日: 2012-06-08
• 公開（公告）號: CN202725056U
• 公開（公告）日: 2013-02-13
• 發明（設計）人: 黃怡文;曾義能
• 申請（專利權）人: 宸沅國際股份有限公司
• 主分類號: B01F5/12
• 分類號: B01F5/12;B01F5/10
• 代理公司: 天津三元專利商標代理有限責任公司 12203
• 代理人: 崔鋼

1.一種晶圓研磨液加速混攪結構，不同于現有研磨晶圓前階段所設研磨液混攪缸內設置由葉片泵攪拌的研磨液混合攪拌結構，其特征在于：于研磨晶圓前階段所設的研磨液混攪缸內，設有抽送泵及加速混攪分歧管，該研磨液混攪缸頂伸入研磨反應液定量筒注入研磨反應液的注入管，且研磨液混攪缸內底中央下凹空間內嵌入抽送泵，此抽送泵設有流入口、抽送回流出口管及最終泵出管，并于抽送泵頂豎接加速混攪分歧管，此加速混攪分歧管由一豎直管臨近頂管口兩旁下斜伸出蓮蓬噴頭的中空管體，而蓮蓬噴頭的噴出正面以一定散射組合斜角均等布設至少二個噴孔，且豎直管底管口套圍抽送泵頂部中央開設的流入口，并將抽送回流出口管接至加速混攪分歧管的頂管口，且最終泵出管接至研磨機。

2.根據權利要求1所述的晶圓研磨液加速混攪結構，其特征在于，所述散射組合斜角的一散射斜角斜出噴出正面在30°～60°之間，且散射組合斜角的另一散射斜角為噴孔孔道斜出蓮蓬噴頭外緣水平切線30°～60°之間。

3.根據權利要求1所述的晶圓研磨液加速混攪結構，其特征在于，所述豎直管于臨近底管口的管口緣壁，透設數個回流孔。

4.根據權利要求1所述的晶圓研磨液加速混攪結構，其特征在于，所述抽送泵為一具有磁浮轉芯的泵體，且此抽送泵頂殼中央開設一流入孔，并圍繞流入孔開設數只向上偏斜散開的擠噴孔道，又于其相對于磁浮轉芯外圍圈設一環回旋送出信道，再圈套一信道環座，并將此環回旋送出通道的送出口連接研磨液出料管，另在通道環座底固接外環布滿散熱片的動力機室。

5.根據權利要求1所述的晶圓研磨液加速混攪結構，其特征在于，所述這些噴孔噴出的研磨反應液供應壓力值等于10psi。

6.根據權利要求1所述的晶圓研磨液加速混攪結構，其特征在于，所述這些噴孔噴出的研磨反應液供應壓力值大于10psi。