[實用新型]一種脈沖激光刻蝕有機玻璃上導電膜層的裝置

有效

• 申請號: 201220266380.X
• 申請日: 2012-06-07
• 公開（公告）號: CN202667927U
• 公開（公告）日: 2013-01-16
• 發明（設計）人: 趙裕興;狄建科;張偉;益凱劼;張子國;蔡仲云;閆華
• 申請（專利權）人: 江陰德力激光設備有限公司
• 主分類號: B23K26/36
• 分類號: B23K26/36;B23K26/06;B23K26/16;B23K26/42
• 代理公司: 江陰市同盛專利事務所 32210
• 代理人: 唐紉蘭;沈國安

技術領域

本實用新型涉及一種脈沖激光刻蝕有機玻璃上導電膜層的裝置，屬于近場光學、電子觸控設計技術和激光微加工技術領域。

背景技術

傳統的觸摸屏導電材料基材多為PET和GLASS，此類基材多數為國外進口材料，供貨周期較長且成本較高，有較多的局限性；況且現觸摸屏領域都為單面蝕刻工藝進行，這樣無法降低觸摸屏產品最終的厚度，制約了觸摸屏向較薄方向發展的進程；若使用以有機玻璃為基底的制作工藝在國內可以很容易找到合適材料，且價格相對低廉，制造工藝較為簡單，對設備的成本和材料成本有較大的改善；再加上雙面制成工藝，可以將觸摸屏產品厚度再降低1mm左右，在觸摸屏領域上是一個新的突破；

但是，傳統的濕刻觸摸屏上導電膜層線路實現寬度最細只能達到80um，且良品率較低，線性不均勻，更換不同批次產品較為繁瑣，需要用化學藥水清洗，污染環境；繃網張力值較小，成品材料耐磨性、耐化學藥品性較差，易老化發脆。這種印刷方式工序復雜、生產中需要較多耗材，產線需要較多人力維護，局限性較大。

發明內容

本實用新型的目的在于克服上述不足，提供加工簡單、效率高且無需耗材的一種脈沖激光刻蝕有機玻璃上導電膜層的裝置。

本實用新型的目的是這樣實現的：一種脈沖激光刻蝕有機玻璃上導電膜層的裝置，所述裝置包含有激光刻蝕設備，所述激光刻蝕設備包含有激光器、光閘、1/2波片、格蘭棱鏡、擴束鏡、全反鏡片、振鏡系統和遠心場鏡，所述激光器發出的激光依次經光閘、1/2波片和格蘭棱鏡后射入擴束鏡對光束進行同軸擴束，經擴束鏡擴束準直后的激光到達全反鏡片，經全反鏡片反射后的激光射入振鏡系統，射出振鏡系統的激光經遠心場鏡后聚焦到被吸附于真空吸附平臺上的待加工件上。

本實用新型一種脈沖激光刻蝕有機玻璃上導電膜層的裝置，所述激光器為高頻率短脈沖激光器。

本實用新型一種脈沖激光刻蝕有機玻璃上導電膜層的裝置，所述裝置包含有高度測量儀，且高度測量儀設置于振鏡系統上。

本實用新型一種脈沖激光刻蝕有機玻璃上導電膜層的裝置，所述高度測量儀為非接觸式高度測量儀。

本實用新型一種脈沖激光刻蝕有機玻璃上導電膜層的裝置，所述激光器、振鏡系統和高度測量儀均通過通訊系統與工控機相連。

本實用新型一種脈沖激光刻蝕有機玻璃上導電膜層的裝置，所述作為待加工件的有機玻璃通過真空吸附平臺進行固定，所述作為待加工件的有機玻璃的導電膜層的上方設置有一CCD對位觀察系統。

本實用新型一種脈沖激光刻蝕有機玻璃上導電膜層的裝置，所述作為待加工件的有機玻璃的導電膜層的上方兩側分別設置有集塵系統和吹氣系統。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：

本實用新型通過運用高頻率的短脈沖激光器作為激光源，對不同觸摸屏產品中有機玻璃雙面銅膜進行激光蝕刻，使有機玻璃銅膜在高頻率的短脈沖固體激光器的作用下氣化而達到蝕除的目的，通過高精度平臺的移動拼接和小幅面振鏡蝕刻來完成這些導電薄膜材料的蝕刻，其中非接觸式高度測量儀時時校準保證了激光蝕刻工作距的穩定性，產生的粉塵在經過特制的吹氣系統和大流量積塵系統集塵，加工出無污染、線性穩定、功能完好的觸摸屏電子產品。

附圖說明

圖1為本實用新型一種脈沖激光刻蝕有機玻璃上導電膜層的裝置的結構示意圖。

其中：

激光器1、光閘2、1/2波片3、格蘭棱鏡4、擴束鏡5、全反鏡片6、振鏡系統7、遠心場鏡8、CCD對位觀察系統9、集塵系統10、吹氣系統11、待加工件12、真空吸附平臺13、工控機14、通訊系統15、高度測量儀16。

具體實施方式

參見圖1，本實用新型涉及一種脈沖激光刻蝕有機玻璃上導電膜層的裝置，所述裝置包含有激光器1、光閘2、1/2波片3、格蘭棱鏡4、擴束鏡5、全反鏡片6、振鏡系統7和遠心場鏡8，所述激光器1發出的激光經光閘2控制開關光，具體可以由軟件控制感應信號來控制光閘2的開啟和關閉，從而實現激光器1的外部控制激光開關，光閘2控制激光光束后經過1/2波片3，調節1/2波片配合格蘭棱鏡4可以實現一定范圍內功率可調，對激光器功率的選擇提供很大的便利；然后通過擴束鏡5對光束進行同軸擴束，一方面改善光束傳播的發散角，從而達到光路準直的目的；另外一方面，對激光光束同軸擴束，使得聚焦后光斑和焦深更小，從而實現激光穩定刻蝕的目的；經擴束鏡5擴束準直后光束到達全反鏡片6，使激光全部反射到振鏡系統7配合著遠心場鏡8可以準確的控制激光聚焦到有機玻璃上的導電膜上，使其蝕刻效果更佳穩定；??