[實(shí)用新型]一種脈沖激光刻蝕有機(jī)玻璃上導(dǎo)電膜層的裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201220266380.X
• 申請(qǐng)日: 2012-06-07
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN202667927U
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-01-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 趙裕興;狄建科;張偉;益凱劼;張子國(guó);蔡仲云;閆華
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江陰德力激光設(shè)備有限公司
• 主分類號(hào): B23K26/36
• 分類號(hào): B23K26/36;B23K26/06;B23K26/16;B23K26/42
• 代理公司: 江陰市同盛專利事務(wù)所 32210
• 代理人: 唐紉蘭;沈國(guó)安

1.一種脈沖激光刻蝕有機(jī)玻璃上導(dǎo)電膜層的裝置，其特征在于：所述裝置包含有激光刻蝕設(shè)備，所述激光刻蝕設(shè)備包含有激光器（1）、光閘（2）、1/2波片（3）、格蘭棱鏡（4）、擴(kuò)束鏡（5）、全反鏡片（6）、振鏡系統(tǒng)（7）和遠(yuǎn)心場(chǎng)鏡（8），所述激光器（1）發(fā)出的激光依次經(jīng)光閘（2）、1/2波片（3）和格蘭棱鏡（4）后射入擴(kuò)束鏡（5）對(duì)光束進(jìn)行同軸擴(kuò)束，經(jīng)擴(kuò)束鏡（5）擴(kuò)束準(zhǔn)直后的激光到達(dá)全反鏡片（6），經(jīng)全反鏡片（6）反射后的激光射入振鏡系統(tǒng)（7），射出振鏡系統(tǒng)（7）的激光經(jīng)遠(yuǎn)心場(chǎng)鏡（8）后聚焦到被吸附于真空吸附平臺(tái)（13）上的待加工件（12）上。

2.如權(quán)利要求1所述一種脈沖激光刻蝕有機(jī)玻璃上導(dǎo)電膜層的裝置，其特征在于：所述激光器（1）為高頻率短脈沖激光器。

3.如權(quán)利要求1所述一種脈沖激光刻蝕有機(jī)玻璃上導(dǎo)電膜層的裝置，其特征在于：所述裝置包含有高度測(cè)量?jī)x（16），且高度測(cè)量?jī)x（16）設(shè)置于振鏡系統(tǒng)（7）上。

4.如權(quán)利要求3所述一種脈沖激光刻蝕有機(jī)玻璃上導(dǎo)電膜層的裝置，其特征在于：所述高度測(cè)量?jī)x（16）為非接觸式高度測(cè)量?jī)x。

5.如權(quán)利要求1或2或3所述一種脈沖激光刻蝕有機(jī)玻璃上導(dǎo)電膜層的裝置，其特征在于：所述激光器（1）、振鏡系統(tǒng)（7）和高度測(cè)量?jī)x（16）均通過(guò)通訊系統(tǒng)（15）與工控機(jī)（14）相連。

6.如權(quán)利要求5所述一種脈沖激光刻蝕有機(jī)玻璃上導(dǎo)電膜層的裝置，其特征在于：所述作為待加工件（12）的有機(jī)玻璃通過(guò)真空吸附平臺(tái)（13）進(jìn)行固定，所述作為待加工件（12）的有機(jī)玻璃的導(dǎo)電膜層的上方設(shè)置有一CCD對(duì)位觀察系統(tǒng)（9）。

7.如權(quán)利要求6所述一種脈沖激光刻蝕有機(jī)玻璃上導(dǎo)電膜層的裝置，其特征在于：所述作為待加工件（12）的有機(jī)玻璃的導(dǎo)電膜層的上方兩側(cè)分別設(shè)置有集塵系統(tǒng)（10）和吹氣系統(tǒng)（11）。