[實用新型]一種晶圓允收測試設備

有效

• 申請號: 201220264047.5
• 申請日: 2012-06-05
• 公開（公告）號: CN202770936U
• 公開（公告）日: 2013-03-06
• 發明（設計）人: 劉剛;瞿奇;陳玉立;梁俊娜
• 申請（專利權）人: 武漢新芯集成電路制造有限公司;中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號: G01R31/01
• 分類號: G01R31/01
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

技術領域

本實用新型涉及集成電路領域，且特別涉及集成電路測試設備。

背景技術

隨著集成電路行業的不斷發展，對于集成電路的測試要求也越來越高。在Foundry中，在制造過程中對于晶圓的測試顯得更為重要。

在傳統的晶圓允收測試（WAT）中，通常晶圓允收測試設備只設置有一個探針卡托盤單元搭配探針卡，對晶圓進行測試。而往往在對晶圓進行測試時，需要使用不同的Recipe來對晶圓進行測試。對于不同的Recipe，需要打開測試腔體更換對應的探針卡，再對晶圓進行測試。更換探針卡的時間需要15分鐘，而且更換時打開測試腔體也會帶來污染。而由于測試過程中經常需要人為更換探針卡，難免為增加對探針卡的損傷幾率。

實用新型內容

為了克服上述問題，本實用新型提供一種具有使晶圓允收測試過程簡單化，加快晶圓允收測試的速度，并且能夠減少晶圓允收測試過程中的污染，減少換針過程中的誤操作（MO）。

為了實現上述目的，本實用新型提出一種晶圓允收測試設備，包括：

探針器，所述探針器設有用于提供密閉空間的腔體；

設置于所述探針器的腔體底部、用于承載晶圓的承載底座；

設置于所述腔體內，且位于所述承載底座上方，并含有多個相互獨立的探針卡托盤的探針卡托盤單元；

一固定設置于所述探針器頂部，且位于所述探針卡托盤單元上方的測試頭；

設置于所述探針器的腔體側壁，并旋轉所述探針卡托盤單元使每個探針卡托盤置于測試頭正下方的機械臂；

設置于每個所述探針卡托盤表面并用于插設探針卡的探針卡接口；以及，

若干探針卡。

進一步地，所述晶圓允收測試設備還包括：用于放置閑置探針卡的氮氣儲存盒。

進一步地，所述探針卡托盤的數量大于三個時，所有探針卡托盤的圓心連線呈正多邊形。

與現有技術相比，本實用新型所述的晶圓允收測試設備的有益效果主要表現在：提供多個探針卡托盤，配合不同測試所需要的探針卡，通過機械臂對應的移至測試頭下方，使同一晶圓在不同Recipe測試時，避免了打開測試腔體來更換探針卡的操作，使晶圓允收測試過程簡單化，提高晶圓允收測試的每小時晶圓吞吐量（WPH），減少晶圓允收測試過程中的污染。

附圖說明

圖1為本實用新型實施例一的晶圓允收測試設備的結構示意圖；

圖2為本實用新型實施例二的晶圓允收測試設備的結構示意圖；

圖3為本實用新型晶圓允收測試設備的探針器的結構示意圖；

晶圓允收測試設備??1

測試頭??2

探針器??11

氮氣儲存盒??12

探針卡托盤單元??3

探針卡托盤??31

探針卡接口??32

探針卡??4

承載底座??5

晶圓??6

機械臂??7

具體實施方式

下面結合附圖對實用新型作進一步的描述。

實施例1

請參考圖1，圖1是本實用新型所述的晶圓允收測試設備的結構的一種實施方式。圖3是本實用新型所述的晶圓測試設備的探針器的結構示意圖。

晶圓允收測試設備1包括探針器11和氮氣儲存盒12。探針器11內的腔體提供密閉空間。探針器11的頂部固定設置有一測試頭2。在測試頭2的下方設置有一探針卡托盤單元3，探針卡托盤單元3上設置3個獨立的探針卡托盤31，3個探針卡托盤31的圓心的連線呈等邊三角形，每個探針卡托盤31上設置有用于插設探針卡4的探針卡接口32，可以通過設置于探針器11腔體內側壁上的機械臂7對探針卡托盤單元3進行轉動，使測試Recipe對應的探針卡4放置的探針卡托盤31置于測試頭2的正下方。在探針器11的底部，設置有用于承載晶圓6的承載基座5。測試時，機械臂7轉動對應的探針卡托盤31，使對應的探針卡托盤31上的探針卡4位于測試頭2的正下方，所需測試的晶圓6與探針卡4、測試頭2呈一直線。氮氣儲存盒12可以存放未使用過的探針卡4，也可以存放已使用過的探針卡4。