[實用新型]一種晶圓允收測試設備有效
| 申請號： | 201220264047.5 | 申請日： | 2012-06-05 |
| 公開（公告）號： | CN202770936U | 公開（公告）日： | 2013-03-06 |
| 發明（設計）人： | 劉剛;瞿奇;陳玉立;梁俊娜 | 申請（專利權）人： | 武漢新芯集成電路制造有限公司;中芯國際集成電路制造（上海）有限公司 |
| 主分類號： | G01R31/01 | 分類號： | G01R31/01 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李時云 |
| 地址： | 430205 湖北省*** | 國省代碼： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 晶圓允收 測試 設備 | ||
【權利要求書】：
1.一種晶圓允收測試設備，其特征在于，包括：
探針器，所述探針器設有用于提供密閉空間的腔體；
設置于所述探針器的腔體底部、用于承載晶圓的承載底座；
設置于所述腔體內，且位于所述承載底座上方，并含有多個相互獨立的探針卡托盤的探針卡托盤單元；
一固定設置于所述探針器頂部，且位于所述探針卡托盤單元上方的測試頭；
設置于所述探針器的腔體側壁，并旋轉所述探針卡托盤單元使每個探針卡托盤置于測試頭正下方的機械臂；
設置于每個所述探針卡托盤表面并用于插設探針卡的探針卡接口；以及，
若干探針卡。
2.如權利要求1所述的晶圓允收測試設備，其特征在于，所述晶圓允收測試設備還包括：
用于放置閑置探針卡的氮氣儲存盒。
3.如權利要求1所述的晶圓允收測試設備，其特征在于：所述探針卡托盤的數量大于三個時，所有探針卡托盤的圓心的連線呈正多邊形。?
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