[實用新型]一種用來處理HMDS的真空烘箱

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201220263105.2
• 申請日: 2012-06-05
• 公開（公告）號: CN202678289U
• 公開（公告）日: 2013-01-16
• 發(fā)明（設計）人: 儲瑞清
• 申請（專利權）人: 無錫市瑞達電子有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;B01J3/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型屬于干燥設備領域，特別涉及一種用來處理HMDS的真空烘箱。

背景技術

HMDS作為一種增粘劑，可有效增加光刻膠與硅片之間的吸附力，在硅片的光刻工藝中逐漸開始應用，但其本身具有毒性且易揮發(fā)，因此使用HMDS的工序需要在真空的狀態(tài)下進行，否則會對操作人員造成傷害；國內現(xiàn)有的廠商在硅片上涂光刻膠很少有使用HMDS作為增粘劑，由于吸附力不夠，這樣涂膠就不均勻，更嚴重的會導致光刻膠脫落。

實用新型內容

本實用新型要解決的技術問題是克服現(xiàn)有的缺陷，提供了一種用來處理HMDS的真空烘箱，整個操作過程處于真空狀態(tài)，使HMDS藥液與硅片表面的二氧化硅充分作用，提高光刻膠與硅表面的粘附力。

為了解決上述技術問題，本實用新型提供了如下的技術方案：

一種用來處理HMDS的真空烘箱，包括機箱，固定在機箱外側的藥瓶，固定在機箱上方的電器箱，通過連接管道與電器箱連接的真空泵箱；所述電器箱上設有控制表盤；其特征在于，所述機箱為一面開口，中空的矩形箱體；所述機箱開口的一面通過鉸鏈連接有一密封箱門；所述箱門包括中間層的門板，包裹在門板外面的石棉層以及門外殼。

進一步地，所述密封箱門內側靠近鉸鏈的一邊設有一密封用的加強筋。

進一步地，所述密封箱門通過沉頭螺釘固定有一開關用的把手裝置。

進一步地，所述密封箱門四個角的內側安裝有減振彈簧。

本實用新型提供的一種用來處理HMDS的真空烘箱，整個操作過程處于真空狀態(tài)，使HMDS藥液與硅片表面的二氧化硅充分作用，提高光刻膠與硅表面的粘附力。箱門與機箱有一定的浮動性，可以吸收多余部分擠壓力，避免了氟橡膠密封圈的破裂而引起的漏氣現(xiàn)象，降低了設備的故障率，也節(jié)約了設備維護的成本。

附圖說明

附圖用來提供對本實用新型的進一步理解，并且構成說明書的一部分，與本實用新型的實施例一起用于解釋本實用新型，并不構成對本實用新型的限制。在附圖中：

圖1是本實用新型一種用來處理HMDS的真空烘箱的側視結構示意圖；

圖2是本實用新型一種用來處理HMDS的真空烘箱的主視結構示意圖；

圖3是本實用新型一種用來處理HMDS的真空烘箱的箱門主視結構示意圖；

圖4是本實用新型一種用來處理HMDS的真空烘箱的箱門側視視結構示意圖。

具體實施方式

以下結合附圖對本實用新型的優(yōu)選實施例進行說明，應當理解，此處所描述的優(yōu)選實施例僅用于說明和解釋本實用新型，并不用于限定本實用新型。

如圖1、2所示，本實用新型一種用來處理HMDS的真空烘箱，包括機箱1，固定在機箱外側的藥瓶2，固定在機箱上方的電器箱3，通過連接管道6與電器箱3連接的真空泵箱5；所述電器箱3上設有控制表盤7；其特征在于，所述機箱1為一面開口，中空的矩形箱體；所述機箱1開口的一面通過鉸鏈13連接有一密封箱門4。

如圖3、4所示，所述密封箱門4包括中間層的門板9，包裹在門板外面的石棉層14以及門外殼10；所述密封箱門4內側靠近鉸鏈13的一邊設有一密封用的加強筋11；所述密封箱門4通過沉頭螺釘15固定有一開關用的把手裝置8；所述密封箱門4四個角的內側安裝有減振彈簧12。

通過抽真空，使藥液沸點降低，汽化后噴撒到圓片表面。沖氮的作用是清潔腔體，排除水汽及空氣中懸浮顆粒物，保證內腔純凈無雜質。高溫的作用是加速汽化過程，同時將未反應完的藥液蒸汽加速揮發(fā)，通過抽真空帶走。