[實(shí)用新型]一種用來處理HMDS的真空烘箱有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201220263105.2 | 申請日： | 2012-06-05 |
| 公開（公告）號： | CN202678289U | 公開（公告）日： | 2013-01-16 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 儲瑞清 | 申請（專利權(quán)）人： | 無錫市瑞達(dá)電子有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/67 | 分類號： | H01L21/67;B01J3/00 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 214000 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 用來 處理 hmds 真空 烘箱 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種用來處理HMDS的真空烘箱，包括機(jī)箱，固定在機(jī)箱外側(cè)的藥瓶，固定在機(jī)箱上方的電器箱，通過連接管道與電器箱連接的真空泵箱；
所述電器箱上設(shè)有控制表盤；其特征在于，所述機(jī)箱為一面開口，中空的矩形箱體；
所述機(jī)箱開口的一面通過鉸鏈連接有一密封箱門；
所述箱門包括中間層的門板，包裹在門板外面的石棉層以及門外殼。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空烘箱，其特征在于：所述密封箱門內(nèi)側(cè)靠近鉸鏈的一邊設(shè)有一密封用的加強(qiáng)筋。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空烘箱，其特征在于：所述密封箱門通過沉頭螺釘固定有一開關(guān)用的把手裝置。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空烘箱，其特征在于：所述密封箱門四個(gè)角的內(nèi)側(cè)安裝有減振彈簧。
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- 專利分類
H01 基本電氣元件
H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
