[實用新型]顯微鏡

有效

• 申請號: 201220256032.4
• 申請日: 2012-05-31
• 公開（公告）號: CN202630990U
• 公開（公告）日: 2012-12-26
• 發明（設計）人: 陸琦
• 申請（專利權）人: 無錫華潤上華科技有限公司
• 主分類號: G01D11/16
• 分類號: G01D11/16
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 常亮

技術領域

本實用新型涉及晶圓制造領域，尤其涉及一種晶圓檢測用的顯微鏡。

背景技術

顯微鏡是由一組或多組透鏡組合而構成的一種光學儀器，是人類進入原子時代的標志。顯微鏡是用于放大微小物體的儀器，使得微小物體放大后能被人的肉眼看到。顯微鏡按照顯微原理進行分類可分為光學顯微鏡與電子顯微鏡。

光學顯微鏡通常皆由光學部分、照明部分和機械部分組成。無疑光學部分是最為關鍵的，它由目鏡和物鏡組成。目前光學顯微鏡的種類很多，主要有明視野顯微鏡（普通光學顯微鏡）、暗視野顯微鏡、熒光顯微鏡、相差顯微鏡、激光共聚掃描顯微鏡、偏光顯微鏡、微分干涉差顯微鏡、倒置顯微鏡。

電子顯微鏡有與光學顯微鏡相似的基本結構特征，但它有著比光學顯微鏡高得多的對物體的放大及分辨本領，它將電子流作為一種新的光源，使物體成像。目前電子顯微鏡的種類很多，主要有透射電鏡、掃描電鏡、分析電鏡、超高壓電鏡等。

參圖1所述，現有技術中的一種顯微鏡，用以對晶圓進行檢測，包括機械手、工作平臺1'及設于所述工作平臺1'上的卡槽3'、感應器4'和驅動馬達。機械手用以抓取晶圓；晶圓收容在一個晶片盒內；晶片盒可固定在工作平臺1'上的卡槽3'內；感應器4'用以感知晶片盒是否成功安裝到卡槽3'內，其一般設置在卡槽3'的一側；驅動馬達用以驅動工作平臺1'進行上下移動。

上述顯微鏡的工作原理是：在正常測試時，晶片盒被放置在卡槽3'內，當感應器4'感應到晶片盒時，感應器4'會發出感應信號，指示設備可以正常操作；當感應器4'沒有感應到晶片盒時，感應器4'會發出報警信號。測試完畢后，驅動馬達反向旋轉，控制工作平臺1'上升。

上述顯微鏡的缺點在于：在顯微鏡工作過程中，若是人為取走晶片盒，感應器不會發出任何報警信號。晶片盒被拿走后工作平臺上沒有晶片盒，操作人員發現后會重新放一個新的晶片盒，但是，之前晶片盒內的晶圓正被機械手拿著進行檢測，該晶圓檢測好后，機械手會將它放回晶片盒內，但是此時已經是一個新的晶片盒，此晶片盒沒有空缺供前一晶片盒的晶圓放置，機械手強行放置后會發生晶圓相互碰撞的想象，不但損壞了晶圓，而且存在一定的安全隱患。

因此，針對上述技術問題，有必要提供一種具有新型的顯微鏡，以克服上述缺陷。

實用新型內容

有鑒于此，本實用新型的目的提供一種顯微鏡，其設有用以限制晶片盒移動的固定鎖，避免在顯微鏡工作過程中，晶片盒從卡槽中被移動，提高了安全系數。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：

一種顯微鏡，用于晶圓的檢測，包括工作平臺及設于所述工作平臺上的卡槽、感應器和驅動馬達，所述卡槽用于收容晶片盒，其中，所述顯微鏡還包括設于所述工作平臺上的固定鎖，所述固定鎖在氣動作用下可從第一位置運動至第二位置，并在第二位置時限制所述晶片盒移動。

作為本實用新型的進一步改進，所述固定鎖包括汽缸和限位部，所述汽缸驅動所述限位部在所述第一位置和第二位置之間移動。

作為本實用新型的進一步改進，所述限位部和汽缸分別設于所述工作平臺的上下兩側，所述工作平臺上還開設有導引槽，所述導引槽用以導引所述限位部在所述第一位置和第二位置之間移動。

作為本實用新型的進一步改進，所述限位部在運動至所述第二位置時，所述限位部的末端位于所述晶片盒的上方。

作為本實用新型的進一步改進，所述限位部包括第一限位部和第二限位部，所述第一限位部和第二限位部的末端在第二位置時位于所述晶片盒的上方。

作為本實用新型的進一步改進，所述固定鎖至少設有兩個。

作為本實用新型的進一步改進，所述顯微鏡還包括開關，所述開關用以控制所述汽缸驅動所述限位部在所述第一位置和第二位置之間移動。

作為本實用新型的進一步改進，所述開關為一按鈕。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：通過設置固定鎖來限制晶片盒移動，可以防止在顯微鏡工作過程中有人誤將晶片盒拿離工作平臺，以避免損壞晶圓或出現安全隱患。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的有關本實用新型的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1是現有技術中顯微鏡的結構示意圖；

圖2是本實用新型最佳實施例中顯微鏡的俯視圖；