[實用新型]顯微鏡有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201220256032.4 | 申請日： | 2012-05-31 |
| 公開（公告）號： | CN202630990U | 公開（公告）日： | 2012-12-26 |
| 發(fā)明（設計）人： | 陸琦 | 申請（專利權）人： | 無錫華潤上華科技有限公司 |
| 主分類號： | G01D11/16 | 分類號： | G01D11/16 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人： | 常亮 |
| 地址： | 214028 江蘇省無*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 顯微鏡 | ||
1.一種顯微鏡，用于晶圓的檢測，包括工作平臺及設于所述工作平臺上的卡槽、感應器和驅動馬達，所述卡槽用于收容晶片盒，其特征在于：所述顯微鏡還包括設于所述工作平臺上的固定鎖，所述固定鎖在氣動作用下可從第一位置運動至第二位置，并在第二位置時限制所述晶片盒移動。
2.根據(jù)權利要求1所述的顯微鏡，其特征在于：所述固定鎖包括汽缸和限位部，所述汽缸驅動所述限位部在所述第一位置和第二位置之間移動。
3.根據(jù)權利要求2所述的顯微鏡，其特征在于：所述限位部和汽缸分別設于所述工作平臺的上下兩側，所述工作平臺上還開設有導引槽，所述導引槽用以導引所述限位部在所述第一位置和第二位置之間移動。
4.根據(jù)權利要求2所述的顯微鏡，其特征在于：所述限位部在運動至所述第二位置時，所述限位部的末端位于所述晶片盒的上方。
5.根據(jù)權利要求2所述的顯微鏡，其特征在于：所述限位部包括第一限位部和第二限位部，所述第一限位部和第二限位部的末端在第二位置時位于所述晶片盒的上方。
6.根據(jù)權利要求2所述的顯微鏡，其特征在于：所述固定鎖至少設有兩個。
7.根據(jù)權利要求2所述的顯微鏡，其特征在于：所述顯微鏡還包括開關，所述開關用以控制所述汽缸驅動所述限位部在所述第一位置和第二位置之間移動。
8.根據(jù)權利要求7所述的顯微鏡，其特征在于：所述開關為一按鈕。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于無錫華潤上華科技有限公司，未經(jīng)無錫華潤上華科技有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權和技術合作，請聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201220256032.4/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
- 上一篇：糧堆檢測裝置
- 下一篇：一種腳踏式制冷垃圾桶
