[實用新型]一種新型的高精度自動補液系統裝置有效

申請號：	201220254835.6	申請日：	2012-06-01
公開（公告）號：	CN202616277U	公開（公告）日：	2012-12-19
發明（設計）人：	柳杉;黃治國;王鵬;梅超;包兵兵	申請（專利權）人：	上饒光電高科技有限公司
主分類號：	H01L31/18	分類號：	H01L31/18;H01L21/67
代理公司：	江西省專利事務所 36100	代理人：	楊志宇
地址：	334100 江***	國省代碼：	江西;36
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種新型高精度自動補液系統裝置
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【權利要求書】：

1.一種新型的高精度自動補液系統裝置，其特征在于：槽體（1）通過管道與補液氣動閥（2）連接，補液氣動閥（2）通過管道與藥液盒（3）連接，液位管（4）設在藥液盒（3）上并與藥液盒（3）連通，液位管（4）靠近底部設有低液位感應器（5），補液液位感應器（6）位于低液位感應器（5）之上，工作液位感應器（7）位于補液液位感應器（6）之上，高液位感應器（8）位于工作液位感應器（7）之上，藥液盒（3）通過管道與進液氣動閥（9）連接。

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