[實用新型]一種新型的高精度自動補液系統裝置

有效

• 申請號: 201220254835.6
• 申請日: 2012-06-01
• 公開（公告）號: CN202616277U
• 公開（公告）日: 2012-12-19
• 發明（設計）人: 柳杉;黃治國;王鵬;梅超;包兵兵
• 申請（專利權）人: 上饒光電高科技有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/67
• 代理公司: 江西省專利事務所 36100
• 代理人: 楊志宇

技術領域

本實用新型應用于晶體硅太陽能電池片制程中，涉及硅片的化學腐蝕清洗機臺的自動補液系統，特別是一種新型的高精度自動補液系統裝置。

背景技術

目前，晶體硅太陽能電池制程中硅片的化學腐蝕清洗機臺的自動補液如圖1是通過氣動閥控制截留片來控制流量，再通過補液時間來確定補液的量，補液量=流量*時間，其中“流量”為新設備安裝時測試值，后續默認為固定值，通過設定補液時間，來控制補液量。但由于截留片孔徑約為3mm很小易堵塞，氣動閥氣壓影響氣動閥打開程度及液體壓力等因素影響了補液流量，所以補液量會產生波動，影響補液精度，導致制程異常。并且管道中均是高濃度的HNO3、HF等高危化學品，如果截留片堵塞，拆除清洗或更換時也存在安全隱患。目前補加0.5L耗時需要60s左右，如果藥液補加量較大時，由于孔徑小，耗時較長，更不能實現快速補液。

發明內容

本實用新型提供一種通過對自動補液系統中液位管貼上刻度并增加了補液液位感應器，從而達到補液系統的高精度與高效率的高精度自動補液系統裝置。

本實用新型的技術方案是：????

一種新型的高精度自動補液系統裝置，其中：槽體通過管道與補液氣動閥連接，補液氣動閥通過管道與藥液盒連接，液位管設在藥液盒上并與藥液盒連通，液位管靠近底部設有低液位感應器，補液液位感應器位于低液位感應器之上，工作液位感應器位于補液液位感應器之上，高液位感應器位于工作液位感應器之上，藥液盒通過管道與進液氣動閥連接。

本實用新型的優點在于：普通的補液系統通過流量和時間來控制藥液補加量，流量的波動會引起藥液補加量的誤差，本實用新型補液系統裝置在液位管上中的液位管貼上刻度并增加補液液位感應器，還去除了補液氣動閥中的截留片，解決了通過流量和時間來控制補液量而受到流量波動影響；使得補液系統在補液過程中更加高效率與高精度。

附圖說明

圖1為現有補液系統裝置的結構示意圖；

圖2為本實用新型補液系統裝置的結構示意圖；

附圖標記：槽體1、補液氣動閥2、藥液盒3、液位管4、低液位感應器5、補液液位感應器6、工作液位感應器7、高液位感應器8、進液動氣閥9。

具體實施方式

實施例1、一種新型的高精度自動補液系統裝置，其中：槽體1通過管道與補液氣動閥2連接，補液氣動閥2通過管道與藥液盒3連接，液位管4設在藥液盒3上并與藥液盒3連通，液位管4靠近底部設有低液位感應器5，補液液位感應器6位于低液位感應器5之上，工作液位感應器7位于補液液位感應器6之上，高液位感應器8位于工作液位感應器7之上，藥液盒3通過管道與進液氣動閥9連接。

工作原理：

將液位管4上貼上刻度，可以通過調節補液液位感應器6的高度，方便的實現補液量的調整，高液位感應器8用于保護藥液盒3，低液位感應器5用于排空藥液盒3，補液時，藥液盒3處于工作液位由工作液位感應器7控制，補液氣動閥2打開；藥液盒的進液氣動閥9保持關閉狀態；當液位降低到補液液位時由補液液位感應器6控制補液氣動閥2關閉，并打開進液氣動閥9，將液位補充到工作液位；去除補液氣動閥2中的截留片，增大了補液管路的孔徑，實現了快速補液的功能。