[實用新型]板式PECVD下料位快速散熱及除塵裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201220252441.7
• 申請日: 2012-05-28
• 公開（公告）號: CN202558932U
• 公開（公告）日: 2012-11-28
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 馬祖兵;朱鈺;張志強(qiáng);應(yīng)凱
• 申請（專利權(quán)）人: 浙江光普太陽能科技有限公司
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44;C23C16/34;B08B5/02
• 代理公司: 杭州華鼎知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 33217
• 代理人: 胡根良

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及板式PECVD。

背景技術(shù)

現(xiàn)有技術(shù)中，板式PECVD存在如下兩個問題：一是硅片上表面容易附著氮化硅粉塵，造成印刷粗點或斷刪。二是硅片自然散熱較慢，影響產(chǎn)品轉(zhuǎn)換效率。

實用新型內(nèi)容

本實用新型所要解決的技術(shù)問題就是提供一種板式PECVD下料位快速散熱及除塵裝置，避免硅片上表面附著氮化硅粉塵，同時加快硅片散熱。

為解決上述技術(shù)問題，本實用新型采用如下技術(shù)方案：板式PECVD下料位快速散熱及除塵裝置，其特征在于：在下料位的緩沖臺上安裝有風(fēng)扇向鍍膜后的硅片吹風(fēng)來快速散熱及去除硅片上表面氮化硅粉塵。

作為優(yōu)選，所述風(fēng)扇設(shè)有兩組，兩組風(fēng)扇設(shè)置的高度均為20CM。

作為優(yōu)選，所述每組風(fēng)扇的數(shù)量及位置與下料位下料硅片一一對應(yīng)設(shè)置。

作為優(yōu)選，所述兩組風(fēng)扇的吹風(fēng)口與緩沖臺平面呈30的角度面對面設(shè)置。

作為優(yōu)選，所述風(fēng)扇由變頻器控制，風(fēng)扇電源為24V電源，下料位處安裝熱電偶和溫控器，風(fēng)扇電源連接保護(hù)斷路器，保護(hù)斷路器一路出線連接溫控器到熱電偶，保護(hù)斷路器另一路出線連接變頻器。

本實用新型在下料位的緩沖臺上安裝有風(fēng)扇向鍍膜后的硅片吹風(fēng)來快速散熱及去除硅片上表面氮化硅粉塵，其中每組風(fēng)扇的個數(shù)及水平方向與石墨框承載的硅片一一對應(yīng)，以實現(xiàn)均勻充分散熱及全面清除粉塵；而與緩沖臺平面呈30左右的角度，則能夠完全清除粉塵；與緩沖臺平面的高度選擇參照風(fēng)扇的風(fēng)力最大程度的散熱及除塵，且不會造成碎片；下料位處安裝熱電偶和溫控器，及時監(jiān)控溫度并自動調(diào)節(jié)風(fēng)扇的轉(zhuǎn)速，保持溫度穩(wěn)定；選擇耐高溫材質(zhì)的風(fēng)扇減少風(fēng)扇損壞；安裝時加裝斷路器的保護(hù)裝置可以避免故障時損壞設(shè)備。

附圖說明

下面結(jié)合附圖和具體實施方式對本實用新型作進(jìn)一步描述：

圖1為本實用新型主視圖；

圖2為本實用新型俯視圖。

具體實施方式

結(jié)合圖1和圖2具體說明本實用新型板式PECVD下料位快速散熱及除塵裝置的實施例，在下料位的緩沖臺1上安裝有風(fēng)扇2向鍍膜后的硅片吹風(fēng)來快速散熱及去除硅片上表面氮化硅粉塵。所述風(fēng)扇設(shè)有兩組，兩組風(fēng)扇設(shè)置的高度均為20CM。所述每組風(fēng)扇的數(shù)量及位置與下料位下料硅片一一對應(yīng)設(shè)置。所述兩組風(fēng)扇的吹風(fēng)口與緩沖臺平面呈30的角度面對面設(shè)置。所述風(fēng)扇由變頻器控制，風(fēng)扇電源為24V電源，下料位處安裝熱電偶和溫控器，風(fēng)扇電源連接保護(hù)斷路器，保護(hù)斷路器一路出線連接溫控器到熱電偶，保護(hù)斷路器另一路出線連接變頻器。

從設(shè)備220V電源上接出24V的電源，連接到保護(hù)斷路器，一路連接溫控器到熱電偶，另一路連接變頻器到風(fēng)扇。

原理：通過熱電偶監(jiān)控下料位的溫度，通過溫控器和變頻器及時控制風(fēng)扇的轉(zhuǎn)速，調(diào)節(jié)風(fēng)速達(dá)到保持溫度恒定。