[實用新型]板式PECVD下料位快速散熱及除塵裝置有效
| 申請號： | 201220252441.7 | 申請日： | 2012-05-28 |
| 公開（公告）號： | CN202558932U | 公開（公告）日： | 2012-11-28 |
| 發明（設計）人： | 馬祖兵;朱鈺;張志強;應凱 | 申請（專利權）人： | 浙江光普太陽能科技有限公司 |
| 主分類號： | C23C16/44 | 分類號： | C23C16/44;C23C16/34;B08B5/02 |
| 代理公司： | 杭州華鼎知識產權代理事務所(普通合伙) 33217 | 代理人： | 胡根良 |
| 地址： | 313100 浙江省湖*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 板式 pecvd 下料位 快速 散熱 除塵 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.板式PECVD下料位快速散熱及除塵裝置，其特征在于：在下料位的緩沖臺（1）上安裝有風扇（2）向鍍膜后的硅片吹風來快速散熱及去除硅片上表面氮化硅粉塵。
2.根據權利要求1所述的板式PECVD下料位快速散熱及除塵裝置，其特征在于：所述風扇設有兩組，兩組風扇設置的高度均為20CM。
3.根據權利要求2所述的板式PECVD下料位快速散熱及除塵裝置，其特征在于：所述每組風扇的數量及位置與下料位下料硅片一一對應設置。
4.根據權利要求3所述的板式PECVD下料位快速散熱及除塵裝置，其特征在于：所述兩組風扇的吹風口與緩沖臺平面呈30的角度面對面設置。
5.根據權利要求4所述的板式PECVD下料位快速散熱及除塵裝置，其特征在于：所述風扇由變頻器控制，風扇電源為24V電源，下料位處安裝熱電偶和溫控器，風扇電源連接保護斷路器，保護斷路器一路出線連接溫控器到熱電偶，保護斷路器另一路出線連接變頻器。
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C23 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制
C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆，例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上，例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的
C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆，例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上，例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的
