[實用新型]一種硅片清洗架有效

申請號：	201220234334.1	申請日：	2012-05-23
公開（公告）號：	CN202564195U	公開（公告）日：	2012-11-28
發明（設計）人：	余志剛;陸元軍;程佑富	申請（專利權）人：	浙江錦鋒光伏科技有限公司
主分類號：	H01L21/673	分類號：	H01L21/673
代理公司：	杭州之江專利事務所(普通合伙) 33216	代理人：	林蜀
地址：	324300 浙江省衢州市***	國省代碼：	浙江;33
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種硅片清洗
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【權利要求書】：

1.一種硅片清洗架，它包括縱向基架框、橫向固定架、U型橫向支架、兩根一字型橫向支架和縱向支架，其特征在于橫向固定架和縱向基架框相垂直并相連接，縱向支架垂直設置在橫向固定架上，U型橫向支架兩端設有U型掛鉤，U型橫向支架、兩根一字型橫向支架垂直設置在縱向支架上，且兩根一字型橫向支架位于U型橫向支架之上。

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