[實用新型]一種嵌入式FOUP推車

有效

• 申請號: 201220229681.5
• 申請日: 2012-05-22
• 公開（公告）號: CN202728293U
• 公開（公告）日: 2013-02-13
• 發明（設計）人: 張穎;周菱霖
• 申請（專利權）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: B62B3/10
• 分類號: B62B3/10
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司 31213
• 代理人: 王敏杰

技術領域

本實用新型涉及半導體集成電路及其制造領域，尤其涉及一種嵌入式FOUP推車。

背景技術

????前端開口硅片片盒（Front?Opening?Unified?Pod，簡稱FOUP），一般用于搬送測量標準片。

圖1是本實用新型背景技術中傳統FOUP推車的結構示意圖；如圖1所示，傳統的FOUP推車1一般采用圍欄式設計，以防止FOUP傾倒，但是其圍欄11的高度只有20mm，遠小于FOUP的高度，所以預防放置的FOUP傾倒效果不佳，且該推車1的放置臺尺寸大于兩個FOUP的尺寸，易造成放置的FOUP在圍欄內進行大角度的轉動，使得在該推車1搬送測量標準片的運送或靜置過程中的安全性不高，易造成測量標準片的損壞，而測量標準片價格非常高，從而增大生產成本。

實用新型內容

本實用新型公開了一種嵌入式FOUP推車，包括一推車，其中，

所述推車的放置臺上嵌入設置有凹槽，所述凹槽的形狀與FOUP的形狀相匹配。

上述的嵌入式FOUP推車，其中，所述放置臺包括相同形狀的第一放置臺和第二放置臺，所述第二放置臺設置在所述第一放置臺的正下方。

上述的嵌入式FOUP推車，其中，所述第一放置臺與所述第二放置臺之間的垂直距離大于所述FOUP的高度。

上述的嵌入式FOUP推車，其中，所述第一放置臺上嵌入設置有第一凹槽，所述第二放置臺上嵌入設置有第二凹槽，所述第一、二凹槽的形狀相同，且所述第二凹槽設置在所述第一凹槽的正下方。

上述的嵌入式FOUP推車，其中，所述凹槽的長度大于FOUP投影的長度5mm，所述凹槽的寬度大于FOUP投影的寬度5mm。

上述的嵌入式FOUP推車，其中，所述凹槽的長為392-412mm，所述凹槽的寬為357-377mm，嵌入深度為30-120mm。

上述的嵌入式FOUP推車，其中，所述凹槽的嵌入深度為80mm。

上述的嵌入式FOUP推車，其中，所述放置臺的長度為650mm，寬度為550mm。

上述的嵌入式FOUP推車，其中，所述凹槽寬邊距離所述放置臺的一寬邊的距離為130?mm，所述凹槽長邊距離所述放置臺的長邊的距離為95?mm。

上述的嵌入式FOUP推車，其中，所述凹槽的長邊的長度為395mm，圓角的半徑為40mm。

綜上所述，由于采用了上述技術方案，本實用新型提出一種嵌入式FOUP推車，通過放置臺上嵌入式設置FOUP凹槽，從而能有效的防止FOUP在搬送過程的安全性和穩定性，從而提高了放置在FOUP中的測量標準片在靜置或移動過程中的安全性，能有效避免由于測量標準片在搬送過程中損壞造成的成本損失。

附圖說明

圖1是本實用新型背景技術中傳統FOUP推車的結構示意圖；

圖2是本實用新型嵌入式FOUP推車的結構示意圖；

圖3是本實用新型嵌入式FOUP推車的投影示意圖。

具體實施方式??

下面結合附圖對本實用新型的具體實施方式作進一步的說明：

圖2是本實用新型嵌入式FOUP推車的結構示意圖；

圖3是本實用新型嵌入式FOUP推車的投影示意圖。

如圖1-6所示，本實用新型一種嵌入式FOUP推車，在FOUP推車2上設置第一放置臺21和第二放置臺23，其中，第二放置臺23設置在第一放置臺21的正下方，且兩放置臺之間的垂直距離大于放置在其上的FOUP的高度，以使得FOUP能夠放置在第二放置臺23上；第一放置臺21上嵌入設置有第一凹槽22，第一凹槽22的形狀與FOUP的形狀相匹配，且第一凹槽22具有一定的深度，以使得放置在第一凹槽22中的FOUP不易傾斜或轉動，設置在第二放置臺23上的第二凹槽24與第一凹槽22的形狀相同，且第二凹槽24設在第一凹槽22的正下方。

其中，第一、二凹槽22、24的長、寬邊長度均大于FUOP投影的長、寬邊一定冗余長度，以使得FOUP能方便的放入凹槽中且又不會在移動時產生較大的轉動，該冗余長度一般為5mm。而根據現今FOUP的規格，第一、二凹槽的長邊長度設置為392-412mm，寬邊長度為357-377mm，嵌入深度為30-120mm。