[實用新型]一種嵌入式FOUP推車有效
| 申請號： | 201220229681.5 | 申請日： | 2012-05-22 |
| 公開（公告）號： | CN202728293U | 公開（公告）日： | 2013-02-13 |
| 發明（設計）人： | 張穎;周菱霖 | 申請（專利權）人： | 上海華力微電子有限公司 |
| 主分類號： | B62B3/10 | 分類號： | B62B3/10 |
| 代理公司： | 上海新天專利代理有限公司 31213 | 代理人： | 王敏杰 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 嵌入式 foup 推車 | ||
1.一種嵌入式FOUP推車，包括一推車，其特征在于，
所述推車的放置臺上嵌入設置有凹槽，所述凹槽的形狀與FOUP的形狀相匹配。
2.根據權利要求1所述的嵌入式FOUP推車，其特征在于，所述放置臺包括相同形狀的第一放置臺和第二放置臺，所述第二放置臺設置在所述第一放置臺的正下方。
3.根據權利要求2所述的嵌入式FOUP推車，其特征在于，所述第一放置臺與所述第二放置臺之間的垂直距離大于所述FOUP的高度。
4.根據權利要求3所述的嵌入式FOUP推車，其特征在于，所述第一放置臺上嵌入設置有第一凹槽，所述第二放置臺上嵌入設置有第二凹槽，所述第一、二凹槽的形狀相同，且所述第二凹槽設置在所述第一凹槽的正下方。
5.根據權利要求1-4中任意一項所述的嵌入式FOUP推車，其特征在于，所述凹槽的長度大于FOUP投影的長度5mm，所述凹槽的寬度大于FOUP投影的寬度5mm。
6.根據權利要求5所述的嵌入式FOUP推車，其特征在于，所述凹槽的長為392-412mm，所述凹槽的寬為357-377mm，嵌入深度為30-120mm。
7.根據權利要求6所述的嵌入式FOUP推車，其特征在于，所述凹槽的嵌入深度為80mm。
8.根據權利要求7所述的嵌入式FOUP推車，其特征在于，所述放置臺的長度為650mm，寬度為550mm。
9.根據權利要求8所述的嵌入式FOUP推車，其特征在于，所述凹槽寬邊距離所述放置臺的一寬邊的距離為130mm，所述凹槽長邊距離所述放置臺的長邊的距離為95?mm。
10.根據權利要求9所述的嵌入式FOUP推車，其特征在于，所述凹槽的長邊的長度為395mm，圓角的半徑為40mm。
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