[實用新型]一種硅片裝卸籃設備有效
| 申請號: | 201220228347.8 | 申請日: | 2012-05-18 |
| 公開(公告)號: | CN202749350U | 公開(公告)日: | 2013-02-20 |
| 發明(設計)人: | 李伯平;梅宏 | 申請(專利權)人: | 南京華伯儀器科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67 |
| 代理公司: | 北京天達知識產權代理事務所(普通合伙) 11386 | 代理人: | 王慶海 |
| 地址: | 210032 江蘇省*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 硅片 裝卸籃 設備 | ||
技術領域
本發明涉及自動化控制領域,具體而言涉及一種硅片裝卸籃設備。?
背景技術
目前使用的硅片插片機采用真空吸盤吸取硅片后,通過直線氣缸或電機傳動的方法移動硅片,移動到位置后釋放真空放下硅片,皮帶帶動硅片傳輸插入籃具。其缺點是:1、傳輸距離較遠,裝卸硅片的速度變慢,工作效率會很低;2、這樣的機器成本高,體積大。3、插片機只有插片功能,沒有從籃具卸片的功能。?
實用新型內容
為了解決上述問題,本發明提供了一種硅片裝卸籃設備,其包括:料盒上下馬達,料盒,第一傳感器,吹氣裝置,真空吸盤,碳纖維板,旋轉氣缸,上下氣缸,旋轉馬達,滑輪,皮帶,第二傳感器,花籃上下馬達,花籃,其中:?
將旋轉氣缸的定子部分和上下氣缸垂直連接,將碳纖維板固定安裝在旋轉氣缸的轉子部分上,在碳纖維板上安裝兩組真空吸盤,一組安裝在碳纖維板的一側下方,另一組安裝在碳纖維板的相對側下方,每組包含2個或更多個真空吸盤,該真空吸盤用于吸取硅片,該上下氣缸用于使旋轉氣缸、碳纖維板和真空吸盤一起上升和下降,該旋轉氣缸用于使碳纖維板和真空吸盤一起旋轉移動并且往返旋轉180°;料盒位于一組真空吸盤的下方,其以可卸載方式安裝在料盒上下馬達上,在料盒上部的兩側分別安裝第一傳感器和吹氣裝置,該第一傳感器用于檢測硅片的上升高度并且當達到預定高度時發出使料盒上下馬達停止的信號,該吹氣裝置用于在料盒上下馬達停止時吹氣使層疊的硅片分開,旋轉馬達、滑輪和皮帶被安置在另一組真空吸盤的下方,花籃和花籃上下馬達被安置在皮帶傳送方向的一側并且花籃以可卸載方式安裝在花籃上下馬達的上方,第二傳感器安裝在皮帶傳送硅片進入花籃的籃齒方向的一側且距離花籃20-50mm處,用于檢測到有硅片插入到花籃的籃齒上時發出使花籃上下馬達向上移動的信號,該花籃上下馬達接到該向上移動的信號后向?上移動一個籃齒齒距的距離。?
其中位于料盒上方的真空吸盤吸取硅片,同時位于皮帶上方的真空吸盤卸載硅片到皮帶上。?
其中所述碳纖維板的長度為400-600mm,寬度為100-160mm,厚度為1-10mm。?
其中所述每組真空吸盤的個數為4個。?
其中在所述碳纖維板上安裝的真空吸盤組多于2組。?
本發明采用了旋轉氣缸帶動真空吸盤旋轉的方案,減少了電動執行器的運動,縮短運動時間,并且吸取硅片和放下硅片同時進行,使工作效率提高一倍。?
另外,本發明采用碳纖維材料作為用于安裝真空吸盤的固定板,其具有強度高、質量輕、韌性高等特點,還具有平面度好、不變形等優點,這保證了真空吸盤平直,吸取硅片穩定性好,同時旋轉移動時慣量小、旋轉速度快、工作效率高。?
本發明的硅片裝卸籃設備解決了目前在眾多太陽能電池制造廠家仍采用手工將硅片裝入籃具和從籃具中取出硅片、效率低、碎片率高,浪費嚴重的技術問題;而且還減少了人工操作過程中對硅片的污染問題。?
附圖說明
圖1示意性示出了本發明的硅片裝卸籃設備的結構圖。?
圖2示意性示出了本發明的硅片裝卸籃設備的一個變形結構的結構圖。?
具體實施方式
圖1示意性示出了本發明的硅片裝卸籃設備的結構。在圖1中,1為料盒上下馬達,2為料盒,3為第一傳感器,4為吹氣裝置,5為硅片,6為真空吸盤,7為碳纖維板,8為旋轉氣缸,9為上下氣缸,10為旋轉馬達,11為滑輪,12為皮帶,13為第二傳感器,14為花籃上下馬達,15為花籃。?
本發明的硅片裝卸籃設備包括:料盒上下馬達1,料盒2,第一傳感器3,吹氣裝置4,真空吸盤6,碳纖維板7,旋轉氣缸8,上下氣缸9,旋轉馬達10,滑輪11,皮帶12,第二傳感器13,花籃上下馬達14和花?籃15;其中:?
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





