[實用新型]一種硅片裝卸籃設備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201220228347.8
• 申請日: 2012-05-18
• 公開（公告）號: CN202749350U
• 公開（公告）日: 2013-02-20
• 發(fā)明（設計）人: 李伯平;梅宏
• 申請（專利權）人: 南京華伯儀器科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 北京天達知識產(chǎn)權代理事務所(普通合伙) 11386
• 代理人: 王慶海

1.一種硅片裝卸籃設備，其包括：料盒上下馬達，料盒，第一傳感器，吹氣裝置，真空吸盤，碳纖維板，旋轉氣缸，上下氣缸，旋轉馬達，滑輪，皮帶，第二傳感器，花籃上下馬達，花籃，其特征在于：

將旋轉氣缸的定子部分和上下氣缸垂直連接，將碳纖維板固定安裝在旋轉氣缸的轉子部分上，在碳纖維板上安裝兩組真空吸盤，一組安裝在碳纖維板的一側下方，另一組安裝在碳纖維板的相對側下方，每組包含2個或更多個真空吸盤，該真空吸盤用于吸取硅片，該上下氣缸用于使旋轉氣缸、碳纖維板和真空吸盤一起上升和下降，該旋轉氣缸用于使碳纖維板和真空吸盤一起旋轉移動并且往返旋轉180°；料盒位于一組真空吸盤的下方，其以可卸載方式安裝在料盒上下馬達上，在料盒上部的兩側分別安裝第一傳感器和吹氣裝置，該第一傳感器用于檢測硅片的上升高度并且當達到預定高度時發(fā)出使料盒上下馬達停止的信號，該吹氣裝置用于在料盒上下馬達停止時吹氣使層疊的硅片分開，旋轉馬達、滑輪和皮帶被安置在另一組真空吸盤的下方，花籃和花籃上下馬達被安置在皮帶傳送方向的一側并且花籃以可卸載方式安裝在花籃上下馬達的上方，第二傳感器安裝在皮帶傳送硅片進入花籃的籃齒方向的一側且距離花籃20-50mm處，用于檢測到有硅片插入到花籃的籃齒上時發(fā)出使花籃上下馬達向上移動的信號，該花籃上下馬達接到該向上移動的信號后向上移動一個籃齒齒距的距離。

2.根據(jù)權利要求1所述的硅片裝卸籃設備，其特征在于，位于料盒上方的真空吸盤吸取硅片，同時位于皮帶上方的真空吸盤卸載硅片到皮帶上。

3.根據(jù)權利要求1所述的硅片裝卸籃設備，其特征在于，所述每組真空吸盤的個數(shù)為4個。

4.根據(jù)權利要求1所述的硅片裝卸籃設備，其特征在于，在所述碳纖維板上安裝的真空吸盤組多于2組。

5.根據(jù)權利要求1所述的硅片裝卸籃設備，其特征在于，所述碳纖維板的長度為400-600mm，寬度為100-160mm，厚度為1-10mm。

6.根據(jù)權利要求5所述的硅片裝卸籃設備，其特征在于，所述碳纖維板的長度為460mm，寬度為110mm，厚度為1.3mm。?

7.根據(jù)權利要求5所述的硅片裝卸籃設備，其特征在于，所述碳纖維板的長度為500mm，寬度為115mm，厚度為2mm。

8.根據(jù)權利要求5所述的硅片裝卸籃設備，其特征在于，所述碳纖維板的長度為550mm，寬度為140mm，厚度為5mm。

9.根據(jù)權利要求1所述的硅片裝卸籃設備，其特征在于，根據(jù)上下氣缸的安裝位置，上下氣缸、旋轉氣缸和碳纖維板的連接順序是：旋轉氣缸在上下氣缸之上且碳纖維板在旋轉氣缸之上，或者旋轉氣缸在上下氣缸之下且碳纖維板在旋轉氣缸之下。?