[實用新型]掃描組件結構有效
| 申請號： | 201220223586.4 | 申請日： | 2012-05-08 |
| 公開（公告）號： | CN202631847U | 公開（公告）日： | 2012-12-26 |
| 發明（設計）人： | 陳明發;李柏勛 | 申請（專利權）人： | 探微科技股份有限公司 |
| 主分類號： | G02B26/10 | 分類號： | G02B26/10 |
| 代理公司： | 上海專利商標事務所有限公司 31100 | 代理人： | 郭蔚 |
| 地址： | 中國臺灣桃園縣*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 掃描 組件 結構 | ||
1.一種掃描組件結構，包括：
一基板，具有相對的一第一側以及一第二側；
一鏡面組件層，配置于該第一側；以及
一孔狀補強層，相對于該鏡面組件層配置于該第二側。
2.根據權利要求1所述的掃描組件結構，其特征在于，該孔狀補強層具有多個孔洞，所述孔洞為圓形、橢圓形或多邊形。
3.根據權利要求1所述的掃描組件結構，其特征在于，該基板具有一組件層、一氧化層以及一操作層，該氧化層位于該組件層與該操作層之間。
4.根據權利要求3所述的掃描組件結構，其特征在于，該孔狀補強層以該操作層蝕刻而成。
5.根據權利要求3所述的掃描組件結構，其特征在于，該鏡面組件層以該組件層蝕刻而成。
6.根據權利要求1所述的掃描組件結構，其特征在于，該鏡面組件層具有一內框、一第一扭轉件以及一掃描鏡，該第一扭轉件位于一第一軸向上，該第一扭轉件連接于該內框與該掃描鏡之間，使該掃描鏡在該第一軸向上振動。
7.根據權利要求6所述的掃描組件結構，其特征在于，該鏡面組件層還可具有一外框以及一第二扭轉件，該第二扭轉件位于一第二軸向上，且該第二扭轉件連接于該內框與該外框之間，使該掃描鏡在該第二軸向上振動。
8.根據權利要求6所述的掃描組件結構，其特征在于，該孔狀補強層對應補強該掃描鏡以及該內框的強度。
9.根據權利要求6所述的掃描組件結構，其特征在于，該孔狀補強層與該第一扭轉件不重疊。
10.根據權利要求7所述的掃描組件結構，其特征在于，該孔狀補強層與該第二扭轉件不重疊。
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