[實用新型]半導體清洗設備中的機械手

有效

• 申請號: 201220219706.3
• 申請日: 2012-05-16
• 公開（公告）號: CN202638831U
• 公開（公告）日: 2013-01-02
• 發明（設計）人: 金金明
• 申請（專利權）人: 硅密（常州）電子設備有限公司
• 主分類號: B08B13/00
• 分類號: B08B13/00;B08B3/10
• 代理公司: 常州市科誼專利代理事務所 32225
• 代理人: 孫彬

技術領域

本實用新型涉及一種半導體清洗設備中的機械手。

背景技術

目前，半導體清洗設備的化學槽中有很多有害氣體，還有具有腐蝕的清洗液，如果用人工清洗的話，一方面可能會造成對操作人員身體的侵害，另一方面手動上下提籃振動一段時間后，其結果是手臂酸痛，操作人員產生疲勞，經常不能保證工藝時間，而且手工提籃振動幅度有大有小，無法精確控制，會導致產品清洗質量不過關，市場上也有投入使用的機械手，但是自動化程度不高，經常需要人工干預調整，材料不耐腐蝕，壽命短，運行不可靠，清洗效果不佳。

發明內容

本實用新型的目的是克服現有技術的缺陷，提供一種自動化程度高，滿足清洗工藝，保證清洗質量以及能夠降低勞動強度的半導體清洗設備中的機械手。

實現本實用新型目的的技術方案是：一種半導體清洗設備中的機械手，它包括殼體、旋轉軸、機械手固定板、安裝在殼體上的擺動動力裝置、使殼體做升降運動的升降動力裝置和使殼體做上下振動的振動動力裝置以及控制擺動動力裝置、升降動力裝置和振動動力裝置的控制單元，旋轉軸為表面包有一層PFA材料的熱縮管，旋轉軸可旋轉地支承在殼體上，旋轉軸的下端安裝有掛架，殼體通過導軌副可滑動地連接在機械手固定板上，升降動力裝置安裝在機械手固定板上，擺動動力裝置通過傳動裝置驅動旋轉軸旋轉。

進一步，所述的擺動動力裝置為擺動氣缸，所述的傳動裝置包括套裝在擺動氣缸輸出軸上的第一同步輪和套裝在旋轉軸上的第二同步輪，第一同步輪和第二同步輪通過同步帶連接。

進一步，所述的升降動力裝置為升降氣缸，升降氣缸上具有第一活塞桿，第一活塞桿與振動動力裝置固定連接。

進一步，所述的振動動力裝置為振動氣缸，振動氣缸上具有第二活塞桿，第二活塞桿與所述的殼體固定連接。

更進一步，所述的導軌副包括導軌和在導軌上滑動配合的滑塊，所述的導軌固定在機械手固定板上，所述的滑塊固定連接在殼體上。

采用了上述技術方案后，將花籃掛在掛架上，機械手的初始位置在水槽上方，然后控制單元控制擺動動力裝置使旋轉軸旋轉180°到化學槽的上方，且旋轉軸表面包有一層PFA材料的熱縮管，避免了化學氣體對旋轉軸的腐蝕，然后控制升降動力裝置使掛架下降到化學槽內，然后控制振動動力裝置，使得殼體做上下振動，即開始清洗工作，清洗完畢后，提升到初始位置，最后取出花籃，復位即可，本實用新型自動化程度高，且耐腐蝕，僅需要人工上下料，其它的讓機械手代替工人做清洗工作，各個動力裝置都可以通過控制單元進行控制，做到精確的控制工藝時間及保證振動幅度大小一致，故保證了產品的清洗質量，提高了生產效率，滿足批量化生產，而且減輕了化學品對人體的傷害，降低了勞動強度。

附圖說明

圖1為本實用新型的半導體清洗設備中的機械手的結構立體圖。

具體實施方式

為了使本實用新型的內容更容易被清楚地理解，下面根據具體實施例并結合附圖，對本實用新型作進一步詳細的說明，

?如圖1所示，一種半導體清洗設備中的機械手，它包括殼體1、旋轉軸2、機械手固定板3、安裝在殼體1上的擺動動力裝置、使殼體1做升降運動的升降動力裝置和使殼體1做上下振動的振動動力裝置以及控制擺動動力裝置、升降動力裝置和振動動力裝置的控制單元，旋轉軸2為表面包有一層PFA材料的熱縮管，旋轉軸2可旋轉地支承在殼體1上，旋轉軸2的下端安裝有掛架4，殼體1通過導軌副可滑動地連接在機械手固定板3上，升降動力裝置安裝在機械手固定板3上，擺動動力裝置通過傳動裝置驅動包有PFA氟材料的旋轉軸2旋轉。擺動動力裝置為擺動氣缸5，傳動裝置包括套裝在擺動氣缸5輸出軸上的第一同步輪6和套裝在旋轉軸2上的第二同步輪7，第一同步輪6和第二同步輪7通過同步帶9連接。升降動力裝置為升降氣缸8，升降氣缸8上具有第一活塞桿，第一活塞桿與振動動力裝置固定連接。振動動力裝置為振動氣缸10，振動氣缸10上具有第二活塞桿，第二活塞桿與所述的殼體1固定連接。導軌副包括導軌11?和在導軌11上滑動配合的滑塊12，所述的導軌11固定在機械手固定板3上，所述的滑塊12固定連接在殼體1上。

PFA指的是可溶性聚四氟乙烯

本實用新型的工作原理如下：