[實用新型]半導體清洗設備中的機械手

有效

• 申請號: 201220219706.3
• 申請日: 2012-05-16
• 公開（公告）號: CN202638831U
• 公開（公告）日: 2013-01-02
• 發明（設計）人: 金金明
• 申請（專利權）人: 硅密（常州）電子設備有限公司
• 主分類號: B08B13/00
• 分類號: B08B13/00;B08B3/10
• 代理公司: 常州市科誼專利代理事務所 32225
• 代理人: 孫彬

1.一種半導體清洗設備中的機械手，其特征在于：它包括殼體（1）、旋轉軸（2）、機械手固定板（3）、安裝在殼體（1）上的擺動動力裝置、使殼體（1）做升降運動的升降動力裝置和使殼體（1）做上下振動的振動動力裝置以及控制擺動動力裝置、升降動力裝置和振動動力裝置的控制單元，旋轉軸（2）為表面包有一層PFA材料的熱縮管，旋轉軸（2）可旋轉地支承在殼體（1）上，旋轉軸（2）的下端安裝有掛架（4），殼體（1）通過導軌副可滑動地連接在機械手固定板（3）上，升降動力裝置安裝在機械手固定板（3）上，擺動動力裝置通過傳動裝置驅動旋轉軸（2）旋轉。

2.根據權利要求1所述的半導體清洗設備中的機械手，其特征在于：所述的擺動動力裝置為擺動氣缸（5），所述的傳動裝置包括套裝在擺動氣缸（5）輸出軸上的第一同步輪（6）和套裝在旋轉軸（2）上的第二同步輪（7），第一同步輪（6）和第二同步輪（7）通過同步帶（9）連接。

3.根據權利要求1所述的半導體清洗設備中的機械手，其特征在于：所述的升降動力裝置為升降氣缸（8），升降氣缸（8）上具有第一活塞桿，第一活塞桿與振動動力裝置固定連接。

4.根據權利要求1或3所述的半導體清洗設備中的機械手，其特征在于：所述的振動動力裝置為振動氣缸（10），振動氣缸（10）上具有第二活塞桿，第二活塞桿與所述的殼體（1）固定連接。

5.根據權利要求1所述的半導體清洗設備中的機械手，其特征在于：所述的導軌副包括導軌（11）和在導軌（11）上滑動配合的滑塊（12），所述的導軌（11）固定在機械手固定板（3）上，所述的滑塊（12）固定連接在殼體（1）上。