[實用新型]晶片檢測機

有效

• 申請號: 201220211376.3
• 申請日: 2012-05-11
• 公開（公告）號: CN202735420U
• 公開（公告）日: 2013-02-13
• 發明（設計）人: 姚圳杰;何志強
• 申請（專利權）人: 益明精密科技有限公司
• 主分類號: G01R31/00
• 分類號: G01R31/00;G01R1/04
• 代理公司: 北京北新智誠知識產權代理有限公司 11100
• 代理人: 胡福恒

技術領域

本實用新型涉及一種晶片檢測機，該晶片檢測機具有可調整X、Y軸位置和θ角的晶片載臺，以及沿著Z軸升降移動的檢測卡載臺。?

背景技術

已知的半自動化晶片檢測機，大致包括具備可X、Y、Z和θ角四軸移動功能的晶片載臺，以及與該晶片載臺相隔一垂直距離并處于固定位置的檢測卡。待測晶片被定位在該晶片載臺上，透過該晶片載臺的X軸、Y軸和θ角調移，使其對準該檢測卡，透過晶片載臺的Z軸升移，使待測晶片接觸該檢測卡的檢測端子，開始進行檢測。?

然而，晶片載臺的Z軸升降移動是由流體動力缸控制，在升降行程中以及抵達行程盡端而定止時，晶片載臺會有震動情形，這可能造成載臺位移或是已定位好的待測晶片位移的問題。然而任何微度的位移都可能造成檢測結果喪失精確性。以往，解決此問題的技術方案附加緩沖裝置于流體動力缸，但只是盡可能的減少晶片載臺震動，卻無法完全避免這個問題。?

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種晶片檢測機，該晶片檢測機具有可調整X軸、Y軸位置和θ角的晶片載臺，以及沿著垂直Z軸升降移動的檢測卡載臺。本實用新型以移動檢測卡載臺的方式，來解決現有技術中，因晶片載臺Z軸移動而造成的晶片震動偏移問題，據以達到晶片檢測機高穩定度和檢測結果高可靠度的目標。?

為達到上述目的，本實用新型采用以下技術方案：?

一種晶片檢測機，包括：?

一承載待測晶片并可調整該待測晶片X軸、Y軸位置和θ角的晶片載臺；?

一承載一檢測卡并可沿著一垂直Z軸于一復回位置和一檢測位置往復升降移動的檢測卡載臺。?

所述檢測卡載臺受控于一線性致動器而執行上述的往復升降移動。?

所述線性致動器為機械式線性致動器。?

所述檢測卡載臺包括一框架，該框架中提供一定位平臺，所述檢測卡被定位在該定位平臺。數個定位子設于所述框架并壓制定位所述檢測卡。?

所述定位子豎向穿鎖于所述框架的螺絲元件，該螺絲元件并具有供徒手旋轉的操作部。?

所述定位子為蝶形螺栓。?

所述框架以數個懸吊元件于其底部懸吊一觸動件，該觸動件的涵蓋范圍擴及所述框架的周邊，所述框架的周邊并配置數個感應器，用來感應該觸動件的作動。?

所述晶片載臺包括一用以承載及定位該待測晶片的晶片承載盤，該晶片承載盤被一θ角調整裝置所支持，該θ角調整裝置被一X軸調整裝置所支持，該X軸調整裝置被一Y軸調整裝置所支持。?

所述晶片檢測機更包括用以設定及儲存該檢測卡載臺的復回位置和檢測位置的資料并供一操作者選用該資料的人機界面裝置。?

本實用新型的優點在于：?

本實用新型的晶片檢測機具有可調整X軸、Y軸位置和θ角的晶片載臺，以及沿著垂直Z軸升降移動的檢測卡載臺。?

本實用新型以垂直升降檢測卡載臺的方案取代垂直驅動晶片載臺的技術，從而解決了因垂直驅動晶片載臺而出現的晶片受震動偏移的問題。?

本實用新型提出檢測卡載臺以定位子壓制定位檢測卡的方案，確保檢測卡定位不偏移。?

本實用新型驅動檢測卡載臺采用機械式線性致動器，并未采用流體動力缸，機械式線性致動器的運轉平順，于抵達行程盡端而止停時沒有頓點。?

本實用新型進一步考慮線性致動器的荷重能力，因而將檢測卡載臺設計為框架形式，減輕檢測卡載臺的重量，使之移動和定點更為平順。?

附圖說明

圖1為本實用新型的側視圖。?

圖2為本實用新型的正視圖。?

圖3為本實用新型的俯視圖。?

圖4為本實用新型側視暨動作示意圖。?

具體實施方式

為便于說明本實用新型于上述實用新型內容中所表示的中心思想，茲以具體實施例表達。實施例中各種不同物件按適于說明的比例、尺寸、變形量或位移量而描繪，而非按實際元件的比例予以繪制，合先敘明。?

如圖1至圖4，本實用新型晶片檢測機包括一晶片載臺10和一檢測卡載臺?50。該晶片載臺10設置在一機座1的水平部面2，該檢測卡載臺50透過一線性致動器51設置在該機座1的垂直部面3。?

該晶片載臺10包括一晶片承載盤11，該晶片承載盤11采取真空定位的手段吸附定位一待測晶片；該晶片承載盤11被一θ角調整裝置12所支持，該θ角調整裝置12被一X軸調整裝置13所支持，該X軸調整裝置13被一Y軸調整裝置14所支持。據此，該晶片載臺10具有X軸、Y軸位置和θ角位移和微調的功能，將待測晶片調整至一待測位置定位。?