[實用新型]晶片檢測機有效
| 申請號： | 201220211376.3 | 申請日： | 2012-05-11 |
| 公開（公告）號： | CN202735420U | 公開（公告）日： | 2013-02-13 |
| 發明（設計）人： | 姚圳杰;何志強 | 申請（專利權）人： | 益明精密科技有限公司 |
| 主分類號： | G01R31/00 | 分類號： | G01R31/00;G01R1/04 |
| 代理公司： | 北京北新智誠知識產權代理有限公司 11100 | 代理人： | 胡福恒 |
| 地址： | 中國臺*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 晶片 檢測 | ||
1.一種晶片檢測機，其特征在于，包括：
一承載待測晶片并可調整該待測晶片X軸、Y軸位置和θ角的晶片載臺；
一承載一檢測卡并可沿著一垂直Z軸于一復回位置和一檢測位置往復升降移動的檢測卡載臺。
2.如權利要求1所述晶片檢測機，其特征在于，所述檢測卡載臺受控于一線性致動器而執行上述的往復升降移動。
3.如權利要求2所述晶片檢測機，其特征在于，所述線性致動器為機械式線性致動器。
4.如權利要求1所述晶片檢測機，其特征在于，所述檢測卡載臺包括一框架，該框架中提供一定位平臺，所述檢測卡被定位在該定位平臺。
5.如權利要求4所述晶片檢測機，其特征在于，數個定位子設于所述框架并壓制定位所述檢測卡。
6.如權利要求5所述晶片檢測機，其特征在于，所述定位子豎向穿鎖于所述框架的螺絲元件，該螺絲元件并具有供徒手旋轉的操作部。
7.如權利要求5所述晶片檢測機，其特征在于，所述定位子為蝶形螺栓。
8.如權利要求4所述晶片檢測機，其特征在于，所述框架以數個懸吊元件于其底部懸吊一觸動件，該觸動件的涵蓋范圍擴及所述框架的周邊，所述框架的周邊并配置數個感應器，用來感應該觸動件的作動。
9.如權利要求1所述晶片檢測機，其特征在于，所述晶片載臺包括一用以承載及定位該待測晶片的晶片承載盤，該晶片承載盤被一θ角調整裝置所支持，該θ角調整裝置被一X軸調整裝置所支持，該X軸調整裝置被一Y軸調整裝置所支持。
10.如權利要求1所述晶片檢測機，其特征在于，其更包括人機界面裝置。?
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