[實用新型]垂直疊加式自動緩沖系統有效
| 申請號： | 201220207665.6 | 申請日： | 2012-05-09 |
| 公開（公告）號： | CN202549810U | 公開（公告）日： | 2012-11-21 |
| 發明（設計）人： | 唐強;朱海青;施成;錢繼君;湯露奇 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/673 | 分類號： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李時云 |
| 地址： | 201203 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 垂直疊加 自動 緩沖 系統 | ||
1.一種垂直疊加式自動緩沖系統，包括晶圓盒保護裝置、裝載端口、殼體以及設于所述殼體內的晶圓處理裝置，其特征在于：所述晶圓盒保護裝置有多層，每層供放置一個晶圓盒，所述晶圓盒保護裝置的每一層都與一個所述裝載端口連接。
2.權利要求1所述的垂直疊加式自動緩沖系統，其特征在于：所述晶圓盒保護裝置的每一層均設有底板、頂蓋和左右側壁。
3.權利要求1所述的垂直疊加式自動緩沖系統，其特征在于：所述殼體為兩層的階梯型結構，所述晶圓盒保護裝置豎直立在殼體的第一階梯層的上表面上，所述晶圓盒保護裝置的背面連接殼體的第二階梯層的正面表面，所述裝載端口設在所述第二階梯層的正面表面。
4.權利要求1所述的垂直疊加式自動緩沖系統，其特征在于：每個所述裝載端口均設有一個自動門。
5.權利要求4所述的垂直疊加式自動緩沖系統，其特征在于：所述自動門采用橫向平移打開方式。
6.權利要求4所述的垂直疊加式自動緩沖系統，其特征在于：所述晶圓盒保護裝置與所述裝載端口連接處設有所述自動門的自動感應系統。
7.權利要求1所述的垂直疊加式自動緩沖系統，其特征在于：所述晶圓處理裝置至少包括一個晶圓傳輸機器，所述晶圓傳輸機器包括載貨裝置、旋轉臂、旋轉軸、垂直升降裝置和水平旋轉裝置，所述載貨裝置設在旋轉臂的末端，所述旋轉臂以旋轉軸為軸心旋轉，所述垂直升降裝置和所述水平旋轉裝置位于所述旋轉軸上。
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H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
